Το στρώμα θερμικού οξειδίου μιας γκοφρέτας πυριτίου είναι ένα στρώμα οξειδίου ή στρώμα πυριτίου που σχηματίζεται στη γυμνή επιφάνεια ενός πλακιδίου πυριτίου υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας με έναν οξειδωτικό παράγοντα.Το στρώμα θερμικού οξειδίου της γκοφρέτας πυριτίου συνήθως αναπτύσσεται σε έναν οριζόντιο κλίβανο σωλήνων και το εύρος θερμοκρασίας ανάπτυξης είναι γενικά 900 ° C ~ 1200 ° C και υπάρχουν δύο τρόποι ανάπτυξης "υγρής οξείδωσης" και "ξηρής οξείδωσης".Το στρώμα θερμικού οξειδίου είναι ένα "αναπτυγμένο" στρώμα οξειδίου που έχει υψηλότερη ομοιογένεια και υψηλότερη διηλεκτρική αντοχή από το στρώμα οξειδίου που εναποτίθεται CVD.Το στρώμα θερμικού οξειδίου είναι ένα εξαιρετικό διηλεκτρικό στρώμα ως μονωτικό.Σε πολλές συσκευές με βάση το πυρίτιο, το στρώμα θερμικού οξειδίου παίζει σημαντικό ρόλο ως στρώμα αποκλεισμού ντόπινγκ και επιφανειακό διηλεκτρικό.
Συμβουλές: Τύπος οξείδωσης
1. Ξηρή οξείδωση
Το πυρίτιο αντιδρά με το οξυγόνο και το στρώμα του οξειδίου κινείται προς το βασικό στρώμα.Η ξηρή οξείδωση πρέπει να πραγματοποιηθεί σε θερμοκρασία 850 έως 1200 ° C και ο ρυθμός ανάπτυξης είναι χαμηλός, ο οποίος μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την ανάπτυξη της πύλης μόνωσης MOS.Όταν απαιτείται ένα υψηλής ποιότητας, εξαιρετικά λεπτό στρώμα οξειδίου του πυριτίου, προτιμάται η ξηρή οξείδωση έναντι της υγρής οξείδωσης.
Ικανότητα ξηρής οξείδωσης: 15nm~300nm(150A~3000A)
2. Υγρή οξείδωση
Αυτή η μέθοδος χρησιμοποιεί ένα μείγμα υδρογόνου και οξυγόνου υψηλής καθαρότητας για να καεί στους ~ 1000 ° C, παράγοντας έτσι υδρατμούς για να σχηματιστεί ένα στρώμα οξειδίου.Αν και η υγρή οξείδωση δεν μπορεί να παράγει τόσο υψηλής ποιότητας στρώμα οξείδωσης όσο η ξηρή οξείδωση, αλλά αρκετά για να χρησιμοποιηθεί ως ζώνη απομόνωσης, σε σύγκριση με την ξηρή οξείδωση έχει ένα σαφές πλεονέκτημα ότι έχει υψηλότερο ρυθμό ανάπτυξης.
Ικανότητα υγρής οξείδωσης: 50nm~ 15μm (500A~15μm)
3. Ξηρή μέθοδος - υγρή μέθοδος - ξηρή μέθοδος
Σε αυτή τη μέθοδο, καθαρό ξηρό οξυγόνο απελευθερώνεται στον κλίβανο οξείδωσης στο αρχικό στάδιο, προστίθεται υδρογόνο στη μέση της οξείδωσης και στο τέλος αποθηκεύεται υδρογόνο για να συνεχιστεί η οξείδωση με καθαρό ξηρό οξυγόνο για να σχηματιστεί μια πυκνότερη δομή οξείδωσης από η κοινή διαδικασία υγρής οξείδωσης με τη μορφή υδρατμού.
4. Οξείδωση TEOS
| Τεχνική Οξείδωσης | Υγρή οξείδωση ή Ξηρή οξείδωση |
| Διάμετρος | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Πάχος οξειδίου | 100 Å ~ 15 μm |
| Ανοχή | +/- 5% |
| Επιφάνεια | Οξείδωση μονής όψης (SSO) / Οξείδωση διπλών πλευρών (DSO) |
| Κάμινος | Οριζόντιος σωλήνας φούρνος |
| Αέριο | Υδρογόνο και αέριο οξυγόνο |
| Θερμοκρασία | 900℃ ~ 1200 ℃ |
| Δείκτης διάθλασης | 1.456 |
