Υποστρώματα Καρβιδίου Πυριτίου|Γκοφρέτες SiC

Σύντομη περιγραφή:

Η Semicera Energy Technology Co., Ltd. είναι κορυφαίος προμηθευτής που ειδικεύεται σε γκοφρέτες και προηγμένα αναλώσιμα ημιαγωγών. Είμαστε αφοσιωμένοι στην παροχή υψηλής ποιότητας, αξιόπιστων και καινοτόμων προϊόντων στην κατασκευή ημιαγωγών, τη βιομηχανία φωτοβολταϊκών και άλλους συναφείς τομείς.

Η σειρά προϊόντων μας περιλαμβάνει προϊόντα γραφίτη με επικάλυψη SiC/TaC και κεραμικά προϊόντα, που περιλαμβάνουν διάφορα υλικά όπως καρβίδιο του πυριτίου, νιτρίδιο του πυριτίου και οξείδιο του αλουμινίου κ.λπ.

Προς το παρόν, είμαστε ο μόνος κατασκευαστής που παρέχει καθαρότητα 99,9999% επίστρωση SiC και 99,9% ανακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου. Το μέγιστο μήκος επίστρωσης SiC που μπορούμε να κάνουμε 2640 mm.

 

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

SiC-Γκοφρέτα

Το μονοκρύσταλλο υλικό καρβιδίου του πυριτίου (SiC) έχει μεγάλο πλάτος διάκενου ζώνης (~Si 3 φορές), υψηλή θερμική αγωγιμότητα (~Si 3,3 φορές ή GaAs 10 φορές), υψηλό ρυθμό μετανάστευσης κορεσμού ηλεκτρονίων (~Si 2,5 φορές), υψηλή ηλεκτρική διάσπαση πεδίου (~Si 10 φορές ή GaAs 5 φορές) και άλλα εξαιρετικά χαρακτηριστικά.

Οι συσκευές SiC έχουν αναντικατάστατα πλεονεκτήματα στον τομέα των ηλεκτρονικών συσκευών υψηλής θερμοκρασίας, υψηλής πίεσης, υψηλής συχνότητας, υψηλής ισχύος και ακραίων περιβαλλοντικών εφαρμογών όπως η αεροδιαστημική, η στρατιωτική, η πυρηνική ενέργεια κ.λπ., καλύπτοντας πρακτικά τα ελαττώματα των παραδοσιακών συσκευών ημιαγωγών εφαρμογές, και σταδιακά γίνονται το κύριο ρεύμα ημιαγωγών ισχύος.

Προδιαγραφές υποστρώματος καρβιδίου του πυριτίου 4H-SiC

Αντικείμενο项目

Προδιαγραφές参数

Πολύτυπος
晶型

4Η -SiC

6H- SiC

Διάμετρος
晶圆直径

2 ιντσών | 3 ιντσών | 4 ιντσών | 6 ιντσών

2 ιντσών | 3 ιντσών | 4 ιντσών | 6 ιντσών

Πάχος
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

Αγώγιμο
导电类型

N – τύπου / Ημιμονωτικό
N型导电片/ 半绝缘片

N – τύπου / Ημιμονωτικό
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 (Άζωτο) V (Βανάδιο)

N2 (Άζωτο) V (Βανάδιο)

Προσανατολισμός
晶向

Στον άξονα <0001>
Εκτός άξονα <0001> εκτός 4°

Στον άξονα <0001>
Εκτός άξονα <0001> εκτός 4°

Αντίσταση
电阻率

0,015 ~ 0,03 ohm-cm
(4H-N)

0,02 ~ 0,1 ohm-cm
(6H-N)

Πυκνότητα μικροσωλήνων (MPD)
微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

Τόξο / στημόνι
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

Επιφάνεια
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

Βαθμός
产品等级

Βαθμός Παραγωγής / Έρευνας

Βαθμός Παραγωγής / Έρευνας

Ακολουθία στοίβαξης κρυστάλλων
堆积方式

ABCB

ABCABC

Παράμετρος πλέγματος
晶格参数

a=3,076A, c=10,053A

a=3,073A, c=15,117A

Eg/eV (Band-gap)
禁带宽度

3,27 eV

3,02 eV

ε(Διηλεκτρική σταθερά)
介电常数

9.6

9,66

Δείκτης Διάθλασης
折射率

n0 =2,719 ne =2,777

n0 =2,707, ne =2,755

Προδιαγραφές υποστρώματος καρβιδίου πυριτίου 6H-SiC

Αντικείμενο项目

Προδιαγραφές参数

Πολύτυπος
晶型

6H-SiC

Διάμετρος
晶圆直径

4 ιντσών | 6 ιντσών

Πάχος
厚度

350μm ~ 450μm

Αγώγιμο
导电类型

N – τύπου / Ημιμονωτικό
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 (Άζωτο)
V (βανάδιο)

Προσανατολισμός
晶向

<0001> έκπτωση 4°± 0,5°

Αντίσταση
电阻率

0,02 ~ 0,1 ohm-cm
(Τύπος 6H-N)

Πυκνότητα μικροσωλήνων (MPD)
微管密度

≤ 10/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

Τόξο / στημόνι
翘曲度

≤25 μm

Επιφάνεια
表面处理

Si Face: CMP, Epi-Ready
Πρόσωπο C: Οπτικό βερνίκι

Βαθμός
产品等级

Βαθμός έρευνας

Χώρος εργασίας Semicera Χώρος εργασίας Semicera 2 Μηχάνημα εξοπλισμού Επεξεργασία CNN, χημικός καθαρισμός, επίστρωση CVD Η υπηρεσία μας


  • Προηγούμενος:
  • Επόμενος: