Επικαλυμμένο με SiCΓραφίτης Halfmoon Partείναι ένα βασικό συστατικό που χρησιμοποιείται στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, ειδικά για επιταξιακό εξοπλισμό SiC.Χρησιμοποιούμε την κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία μας για να φτιάξουμε το εξάρτημα halfmoon με εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, καλή ομοιομορφία επίστρωσης και εξαιρετική διάρκεια ζωής, καθώς και ιδιότητες υψηλής χημικής αντοχής και θερμικής σταθερότητας.
-
Φορέας SiC για θερμότητα ταχείας θέρμανσης RTP/RTA...
-
Υψηλής καθαρότητας κρυστάλλινο καρβίδιο του πυριτίου για μεταφορά σκάφους...
-
Επιταξιακή εναπόθεση πυριτίου σε βαρέλι Susceptor
-
Βαρέλι επιταξιακού αντιδραστήρα με επίστρωση SiC
-
Επιταξιακός αντιδραστήρας Β υψηλής θερμοκρασίας με επίστρωση SiC...
-
Σκάφος γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου πυροσυσσωματωμένο με αντίδραση