Κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου

ΗμικεράΚεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίουείναι μια προστατευτική επίστρωση υψηλής απόδοσης κατασκευασμένη από εξαιρετικά σκληρό και ανθεκτικό στη φθορά υλικό καρβιδίου του πυριτίου (SiC). Η επίστρωση συνήθως εναποτίθεται στην επιφάνεια του υποστρώματος με διαδικασία CVD ή PVD μεσωματίδια καρβιδίου του πυριτίου, παρέχοντας εξαιρετική αντοχή στη χημική διάβρωση και σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες. Ως εκ τούτου, η κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιείται ευρέως σε βασικά εξαρτήματα του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών.

Στην κατασκευή ημιαγωγών,Επικάλυψη SiCμπορεί να αντέξει σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C, επομένως η κεραμική επίστρωση από καρβίδιο πυριτίου χρησιμοποιείται συχνά ως προστατευτικό στρώμα για εξοπλισμό ή εργαλεία για την πρόληψη ζημιών σε υψηλές θερμοκρασίες ή διαβρωτικά περιβάλλοντα.

Συγχρόνως,κεραμική επίστρωση καρβιδίου του πυριτίουμπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση οξέων, αλκαλίων, οξειδίων και άλλων χημικών αντιδραστηρίων και έχει υψηλή αντοχή στη διάβρωση σε μια ποικιλία χημικών ουσιών. Επομένως, αυτό το προϊόν είναι κατάλληλο για διάφορα διαβρωτικά περιβάλλοντα στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Επιπλέον, σε σύγκριση με άλλα κεραμικά υλικά, το SiC έχει υψηλότερη θερμική αγωγιμότητα και μπορεί να μεταφέρει αποτελεσματικά τη θερμότητα. Αυτό το χαρακτηριστικό καθορίζει ότι σε διεργασίες ημιαγωγών που απαιτούν ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας, η υψηλή θερμική αγωγιμότητα τουΚεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίουβοηθά στην ομοιόμορφη διασπορά της θερμότητας, αποτρέπει την τοπική υπερθέρμανση και διασφαλίζει ότι η συσκευή λειτουργεί στη βέλτιστη θερμοκρασία.