Στερεό δαχτυλίδι εστίασης SiC

Το Solid SiC Focus Ring από τη Semicera είναι ένα εξάρτημα αιχμής που έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις της προηγμένης κατασκευής ημιαγωγών. Κατασκευασμένο από υψηλής καθαρότηταςΚαρβίδιο του πυριτίου (SiC), αυτός ο δακτύλιος εστίασης είναι ιδανικός για ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών στη βιομηχανία ημιαγωγών, ειδικά σεΔιαδικασίες CVD SiC, χάραξη πλάσματος, καιICPRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching). Γνωστό για την εξαιρετική του αντοχή στη φθορά, την υψηλή θερμική σταθερότητα και την καθαρότητά του, εξασφαλίζει μακροχρόνια απόδοση σε περιβάλλοντα υψηλής καταπόνησης.

Σε ημιαγωγόόστιαεπεξεργασία, οι στερεοί δακτύλιοι εστίασης SiC είναι ζωτικής σημασίας για τη διατήρηση ακριβούς χάραξης κατά τη διάρκεια των εφαρμογών ξηρής χάραξης και χάραξης γκοφρέτας. Ο δακτύλιος εστίασης SiC βοηθά στην εστίαση του πλάσματος κατά τη διάρκεια διεργασιών όπως οι λειτουργίες της μηχανής χάραξης πλάσματος, καθιστώντας τον απαραίτητο για τη χάραξη πλακών πυριτίου. Το συμπαγές υλικό SiC προσφέρει απαράμιλλη αντοχή στη διάβρωση, διασφαλίζοντας τη μακροζωία του εξοπλισμού σας και ελαχιστοποιώντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας, κάτι που είναι απαραίτητο για τη διατήρηση υψηλής απόδοσης στην κατασκευή ημιαγωγών.

Το Solid SiC Focus Ring από τη Semicera έχει σχεδιαστεί για να αντέχει σε ακραίες θερμοκρασίες και επιθετικές χημικές ουσίες που συναντώνται συνήθως στη βιομηχανία ημιαγωγών. Είναι ειδικά κατασκευασμένο για χρήση σε εργασίες υψηλής ακρίβειας όπωςΕπιστρώσεις CVD SiC, όπου η καθαρότητα και η ανθεκτικότητα είναι πρωταρχικής σημασίας. Με εξαιρετική αντοχή στο θερμικό σοκ, αυτό το προϊόν εξασφαλίζει σταθερή και σταθερή απόδοση κάτω από τις πιο σκληρές συνθήκες, συμπεριλαμβανομένης της έκθεσης σε υψηλές θερμοκρασίες κατά τη διάρκειαόστιαδιαδικασίες χάραξης.