Το μπλε/πράσινο LED epitaxy από semicera προσφέρει λύσεις αιχμής για κατασκευή LED υψηλής απόδοσης. Σχεδιασμένη για να υποστηρίζει προηγμένες διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης, η τεχνολογία επιτάξεως μπλε/πράσινων LED του semicera ενισχύει την αποτελεσματικότητα και την ακρίβεια στην παραγωγή μπλε και πράσινων LED, κρίσιμων για διάφορες οπτοηλεκτρονικές εφαρμογές. Χρησιμοποιώντας υπερσύγχρονα Si Epitaxy και SiC Epitaxy, αυτή η λύση εξασφαλίζει εξαιρετική ποιότητα και αντοχή.
Στη διαδικασία κατασκευής, το MOCVD Susceptor διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο, μαζί με εξαρτήματα όπως το PSS Etching Carrier, το ICP Etching Carrier και το RTP Carrier, τα οποία βελτιστοποιούν το περιβάλλον επιταξιακής ανάπτυξης. Η μπλε/πράσινη επίταση LED της Semicera έχει σχεδιαστεί για να παρέχει σταθερή υποστήριξη για τον Επιταξιακό Δοχείο LED, τον Επιθέτη Βαρελών και το Μονοκρυσταλλικό Πυρίτιο, διασφαλίζοντας την παραγωγή σταθερών, υψηλής ποιότητας αποτελεσμάτων.
Αυτή η διαδικασία επιταξίας είναι ζωτικής σημασίας για τη δημιουργία φωτοβολταϊκών εξαρτημάτων και υποστηρίζει εφαρμογές όπως το GaN στο SiC Epitaxy, βελτιώνοντας τη συνολική απόδοση των ημιαγωγών. Είτε σε διαμόρφωση Pancake Susceptor είτε χρησιμοποιείται σε άλλες προηγμένες ρυθμίσεις, οι λύσεις επιταξίας μπλε/πράσινων LED της semicera προσφέρουν αξιόπιστη απόδοση, βοηθώντας τους κατασκευαστές να ανταποκριθούν στην αυξανόμενη ζήτηση για εξαρτήματα LED υψηλής ποιότητας.
Κύρια χαρακτηριστικά:
1. Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία:
η αντίσταση στην οξείδωση είναι ακόμα πολύ καλή όταν η θερμοκρασία είναι τόσο υψηλή όσο 1600 C.
2. Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με χημική εναπόθεση ατμού υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
3. Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, συμπαγής επιφάνεια, λεπτά σωματίδια.
4. Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, αλάτι και οργανικά αντιδραστήρια.
Βασικές προδιαγραφές τουΕπικάλυψη CVD-SIC
| Ιδιότητες SiC-CVD | ||
| Κρυσταλλική Δομή | FCC β φάση | |
| Πυκνότητα | g/cm ³ | 3.21 |
| Σκληρότητα | Σκληρότητα Vickers | 2500 |
| Μέγεθος κόκκου | μm | 2~10 |
| Χημική Καθαρότητα | % | 99,99995 |
| Θερμοχωρητικότητα | J·kg-1·K-1 | 640 |
| Θερμοκρασία εξάχνωσης | ℃ | 2700 |
| Καμπυλική δύναμη | MPa (RT 4 σημείων) | 415 |
| Το Modulus του Young | Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) | 430 |
| Θερμική Διαστολή (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Θερμική αγωγιμότητα | (W/mK) | 300 |
