Βραχίονας χειρισμού γκοφρέταςείναι ένας βασικός εξοπλισμός που χρησιμοποιείται στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών για χειρισμό, μεταφορά και τοποθέτησηγκοφρέτες. Συνήθως αποτελείται από έναν ρομποτικό βραχίονα, μια λαβή και ένα σύστημα ελέγχου, με ακριβείς δυνατότητες κίνησης και τοποθέτησης.Βραχίονες χειρισμού γκοφρέταςχρησιμοποιούνται ευρέως σε διάφορους συνδέσμους στην κατασκευή ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των σταδίων διαδικασίας όπως η φόρτωση γκοφρέτας, ο καθαρισμός, η εναπόθεση λεπτής μεμβράνης, η χάραξη, η λιθογραφία και η επιθεώρηση. Η ακρίβεια, η αξιοπιστία και οι δυνατότητές του αυτοματισμού είναι απαραίτητες για τη διασφάλιση της ποιότητας, της αποτελεσματικότητας και της συνέπειας της παραγωγικής διαδικασίας.
Οι κύριες λειτουργίες του βραχίονα χειρισμού γκοφρέτας περιλαμβάνουν:
1. Μεταφορά γκοφρέτας: Ο βραχίονας χειρισμού γκοφρετών είναι σε θέση να μεταφέρει με ακρίβεια γκοφρέτες από τη μια θέση στην άλλη, όπως τη λήψη γκοφρετών από μια σχάρα αποθήκευσης και την τοποθέτησή τους σε μια συσκευή επεξεργασίας.
2. Τοποθέτηση και προσανατολισμός: Ο βραχίονας χειρισμού πλακιδίων είναι σε θέση να τοποθετεί και να προσανατολίζει με ακρίβεια τη γκοφρέτα για να διασφαλίσει τη σωστή ευθυγράμμιση και θέση για επακόλουθες λειτουργίες επεξεργασίας ή μέτρησης.
3. Σύσφιξη και απελευθέρωση: Οι βραχίονες χειρισμού πλακιδίων είναι συνήθως εξοπλισμένοι με λαβές που μπορούν να συσφίξουν με ασφάλεια τις γκοφρέτες και να τις απελευθερώσουν όταν χρειάζεται για να διασφαλιστεί η ασφαλής μεταφορά και χειρισμός των πλακών.
4. Αυτοματοποιημένος έλεγχος: Ο βραχίονας χειρισμού πλακιδίων είναι εξοπλισμένος με ένα προηγμένο σύστημα ελέγχου που μπορεί να εκτελέσει αυτόματα προκαθορισμένες ακολουθίες ενεργειών, να βελτιώσει την απόδοση της παραγωγής και να μειώσει τα ανθρώπινα λάθη.
Χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα
1.Ακριβείς διαστάσεις και θερμική σταθερότητα.
2. Υψηλή ειδική ακαμψία και εξαιρετική θερμική ομοιομορφία, η μακροχρόνια χρήση δεν είναι εύκολο να κάμψει την παραμόρφωση.
3. Έχει μια λεία επιφάνεια και καλή αντοχή στη φθορά, με αποτέλεσμα να χειρίζεται με ασφάλεια το τσιπ χωρίς μόλυνση από σωματίδια.
4. Αντίσταση καρβιδίου του πυριτίου σε 106-108Ω, μη μαγνητική, σύμφωνα με τις απαιτήσεις προδιαγραφών αντι-ESD. Μπορεί να αποτρέψει τη συσσώρευση στατικού ηλεκτρισμού στην επιφάνεια του τσιπ.
5. Καλή θερμική αγωγιμότητα, χαμηλός συντελεστής διαστολής.
