του SemiceraΓκοφρέτα κασέταείναι ένα κρίσιμο συστατικό στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, σχεδιασμένο να συγκρατεί και να μεταφέρει με ασφάλεια ευαίσθητες γκοφρέτες ημιαγωγών. ΟΓκοφρέτα κασέταπαρέχει εξαιρετική προστασία, διασφαλίζοντας ότι κάθε γκοφρέτα διατηρείται απαλλαγμένη από ρύπους και φυσικές ζημιές κατά το χειρισμό, την αποθήκευση και τη μεταφορά.
Κατασκευασμένο με υλικά υψηλής καθαρότητας, ανθεκτικά στα χημικά, το SemiceraΓκοφρέτα κασέταεγγυάται τα υψηλότερα επίπεδα καθαριότητας και ανθεκτικότητας, απαραίτητα για τη διατήρηση της ακεραιότητας των γκοφρετών σε κάθε στάδιο παραγωγής. Η μηχανική ακριβείας αυτών των κασετών επιτρέπει την απρόσκοπτη ενσωμάτωση με αυτοματοποιημένα συστήματα χειρισμού, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο μόλυνσης και μηχανικής βλάβης.
Ο σχεδιασμός τουΓκοφρέτα κασέταυποστηρίζει επίσης τον βέλτιστο έλεγχο ροής αέρα και θερμοκρασίας, κάτι που είναι ζωτικής σημασίας για διαδικασίες που απαιτούν συγκεκριμένες περιβαλλοντικές συνθήκες. Είτε χρησιμοποιείται σε καθαρούς χώρους είτε κατά τη διάρκεια θερμικής επεξεργασίας, το SemiceraΓκοφρέτα κασέταέχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών, παρέχοντας αξιόπιστη και σταθερή απόδοση για τη βελτίωση της παραγωγικής απόδοσης και της ποιότητας των προϊόντων.
| Είδη | Παραγωγή | Ερευνα | Ανδρείκελο |
| Παράμετροι Κρυστάλλων | |||
| Πολύτυπος | 4H | ||
| Σφάλμα προσανατολισμού επιφάνειας | <11-20 >4±0,15° | ||
| Ηλεκτρικές Παράμετροι | |||
| Dopant | Άζωτο n τύπου | ||
| Αντίσταση | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Μηχανικές Παράμετροι | |||
| Διάμετρος | 150,0±0,2 χλστ | ||
| Πάχος | 350±25 μm | ||
| Πρωτεύων επίπεδος προσανατολισμός | [1-100]±5° | ||
| Πρωτεύον επίπεδο μήκος | 47,5±1,5 χλστ | ||
| Δευτερεύον διαμέρισμα | Κανένας | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Τόξο | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Στημόνι | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Μπροστινή (Si-face) τραχύτητα (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Δομή | |||
| Πυκνότητα μικροσωλήνων | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Ακαθαρσίες μετάλλων | ≤5E10άτομα/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ποιότητα εμπρός | |||
| Εμπρός | Si | ||
| Φινίρισμα επιφάνειας | Si-face CMP | ||
| Σωματίδια | ≤60ea/γκοφρέτα (μέγεθος≥0,3μm) | NA | |
| Γρατσουνιές | ≤5ea/mm. Αθροιστικό μήκος ≤Διάμετρος | Αθροιστικό μήκος≤2*Διάμετρος | NA |
| Φλούδα πορτοκαλιού/κουκούτσια/λεκέδες/ραβδώσεις/ρωγμές/μόλυνση | Κανένας | NA | |
| Τσιπ άκρων/εσοχές/θραύσεις/εξάγωνες πλάκες | Κανένας | ||
| Πολυτυπικές περιοχές | Κανένας | Σωρευτική περιοχή≤20% | Σωρευτική περιοχή≤30% |
| Μπροστινή σήμανση λέιζερ | Κανένας | ||
| Πίσω Ποιότητα | |||
| Πίσω φινίρισμα | CMP προσώπου C | ||
| Γρατσουνιές | ≤5ea/mm,Σωρευτικό μήκος≤2*Διάμετρος | NA | |
| Ελαττώματα πλάτης (τσιπ άκρων/εσοχές) | Κανένας | ||
| Τραχύτητα πλάτης | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Πίσω σήμανση λέιζερ | 1 mm (από την επάνω άκρη) | ||
| Ακρη | |||
| Ακρη | Λοξότμηση | ||
| Συσκευασία | |||
| Συσκευασία | Epi-ready με συσκευασία κενού αέρος Συσκευασία κασέτα πολλαπλών γκοφρετών | ||
| *Σημειώσεις: "NA" σημαίνει κανένα αίτημα Τα στοιχεία που δεν αναφέρονται ενδέχεται να αναφέρονται σε SEMI-STD. | |||
