Πλάκα στήριξης υποδοχέα με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίουείναι ένας υποδοχέας ή δομή στήριξης που καλύπτεται με ένα λεπτό στρώμα απόκαρβίδιο τανταλίου. Αυτή η επίστρωση μπορεί να σχηματιστεί στην επιφάνεια του υποδοχέα με τεχνικές όπως η φυσική εναπόθεση ατμού (PVD) ή η χημική εναπόθεση ατμού (CVD), δίνοντας στον δεκτικό τις ανώτερες ιδιότητεςκαρβίδιο τανταλίου.
Η Semicera παρέχει εξειδικευμένες επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) για διάφορα εξαρτήματα και φορείς.Η κορυφαία διαδικασία επίστρωσης Semicera επιτρέπει στις επικαλύψεις καρβιδίου τανταλίου (TaC) να επιτυγχάνουν υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική ανοχή, βελτιώνοντας την ποιότητα του προϊόντος των κρυστάλλων SIC/GAN και των στρωμάτων EPI (Υποδοχέας TaC με επικάλυψη γραφίτη), και την παράταση της διάρκειας ζωής των βασικών εξαρτημάτων του αντιδραστήρα. Η χρήση της επίστρωσης TaC καρβιδίου του τανταλίου είναι για την επίλυση του προβλήματος των άκρων και τη βελτίωση της ποιότητας της ανάπτυξης κρυστάλλων, και η Semicera έχει μια σημαντική ανακάλυψη επίλυσης της τεχνολογίας επίστρωσης καρβιδίου του τανταλίου (CVD), φτάνοντας στο διεθνές προηγμένο επίπεδο.
Μετά από χρόνια ανάπτυξης, η Semicera έχει κατακτήσει την τεχνολογία τηςCVD TaCμε τις κοινές προσπάθειες του τμήματος Ε&Α. Τα ελαττώματα είναι εύκολο να εμφανιστούν στη διαδικασία ανάπτυξης των πλακών SiC, αλλά μετά τη χρήσηTaC, η διαφορά είναι σημαντική. Παρακάτω είναι μια σύγκριση γκοφρετών με και χωρίς TaC, καθώς και εξαρτημάτων Simicera για ανάπτυξη μονού κρυστάλλου.
Τα κύρια χαρακτηριστικά των πλακών βάσης με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου περιλαμβάνουν:
1. Σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας: Το καρβίδιο του τανταλίου έχει εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας, καθιστώντας την επικαλυμμένη βάση στήριξης κατάλληλη για ανάγκες υποστήριξης σε περιβάλλοντα εργασίας υψηλής θερμοκρασίας.
2. Αντοχή στη διάβρωση: Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου έχει καλή αντοχή στη διάβρωση, μπορεί να αντισταθεί στη χημική διάβρωση και την οξείδωση και να παρατείνει τη διάρκεια ζωής της βάσης.
3. Υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά: Η υψηλή σκληρότητα της επίστρωσης καρβιδίου του τανταλίου δίνει στην πλάκα στήριξης βάσης καλή αντοχή στη φθορά, η οποία είναι κατάλληλη για περιπτώσεις που απαιτούν υψηλή αντοχή στη φθορά.
4. Χημική σταθερότητα: Το καρβίδιο του τανταλίου έχει υψηλή σταθερότητα σε μια ποικιλία χημικών ουσιών, με αποτέλεσμα η επικαλυμμένη βάση στήριξης να λειτουργεί καλά σε ορισμένα διαβρωτικά περιβάλλοντα.
με και χωρίς TaC
Μετά τη χρήση του TaC (δεξιά)
Επιπλέον, του SemiceraΠροϊόντα επικαλυμμένα με TaCπαρουσιάζουν μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και μεγαλύτερη αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες σε σύγκριση μεΕπιστρώσεις SiC.Εργαστηριακές μετρήσεις έχουν δείξει ότι μαςΕπιστρώσεις TaCμπορεί να λειτουργεί σταθερά σε θερμοκρασίες έως και 2300 βαθμούς Κελσίου για παρατεταμένες περιόδους. Παρακάτω είναι μερικά παραδείγματα δειγμάτων μας:
