Φύλλο γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίουείναι ένα υλικό γραφίτη με ένα λεπτό στρώμα απόκαρβίδιο τανταλίουστην επιφάνεια του υποστρώματος. Το λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου σχηματίζεται συνήθως στην επιφάνεια του υποστρώματος γραφίτη με τεχνικές όπως η φυσική εναπόθεση ατμού (PVD) ή η χημική εναπόθεση ατμού (CVD). Αυτή η επίστρωση έχει εξαιρετικές ιδιότητες όπως υψηλή σκληρότητα, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, αντοχή στη διάβρωση και σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες.
Η Semicera παρέχει εξειδικευμένες επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) για διάφορα εξαρτήματα και φορείς.Η κορυφαία διαδικασία επίστρωσης Semicera επιτρέπει στις επικαλύψεις καρβιδίου τανταλίου (TaC) να επιτυγχάνουν υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική ανοχή, βελτιώνοντας την ποιότητα του προϊόντος των κρυστάλλων SIC/GAN και των στρωμάτων EPI (Υποδοχέας TaC με επικάλυψη γραφίτη), και την παράταση της διάρκειας ζωής των βασικών εξαρτημάτων του αντιδραστήρα. Η χρήση της επίστρωσης TaC καρβιδίου του τανταλίου είναι για την επίλυση του προβλήματος των άκρων και τη βελτίωση της ποιότητας της ανάπτυξης κρυστάλλων, και η Semicera έχει μια σημαντική ανακάλυψη επίλυσης της τεχνολογίας επίστρωσης καρβιδίου του τανταλίου (CVD), φτάνοντας στο διεθνές προηγμένο επίπεδο.
Μετά από χρόνια ανάπτυξης, η Semicera έχει κατακτήσει την τεχνολογία τηςCVD TaCμε τις κοινές προσπάθειες του τμήματος Ε&Α. Τα ελαττώματα είναι εύκολο να εμφανιστούν στη διαδικασία ανάπτυξης των πλακών SiC, αλλά μετά τη χρήσηTaC, η διαφορά είναι σημαντική. Παρακάτω είναι μια σύγκριση γκοφρετών με και χωρίς TaC, καθώς και εξαρτημάτων Simicera για ανάπτυξη μονού κρυστάλλου.
Τα κύρια πλεονεκτήματα του φύλλου γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου περιλαμβάνουν:
1. Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία: Το καρβίδιο του τανταλίου έχει υψηλό σημείο τήξης και εξαιρετική σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία, καθιστώντας το επικαλυμμένο φύλλο γραφίτη κατάλληλο για χρήση σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.
2. Αντοχή στη διάβρωση: Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση πολλών χημικών διαβρωτικών ουσιών και να παρατείνει τη διάρκεια ζωής του υλικού.
3. Υψηλή σκληρότητα: Η υψηλή σκληρότητα του λεπτού στρώματος καρβιδίου του τανταλίου παρέχει καλή αντοχή στη φθορά και είναι κατάλληλη για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή αντοχή στη φθορά.
4. Χημική σταθερότητα: Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου έχει εξαιρετική σταθερότητα στη χημική διάβρωση και είναι κατάλληλη για χρήση σε ορισμένα διαβρωτικά μέσα.
με και χωρίς TaC
Μετά τη χρήση του TaC (δεξιά)
Επιπλέον, του SemiceraΠροϊόντα επικαλυμμένα με TaCπαρουσιάζουν μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και μεγαλύτερη αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες σε σύγκριση μεΕπιστρώσεις SiC.Εργαστηριακές μετρήσεις έχουν δείξει ότι μαςΕπιστρώσεις TaCμπορεί να λειτουργεί σταθερά σε θερμοκρασίες έως και 2300 βαθμούς Κελσίου για παρατεταμένες περιόδους. Παρακάτω είναι μερικά παραδείγματα δειγμάτων μας:
