ΗμικεράTaC Coating Chuck, το τσοκ κενού αιχμής εξοπλισμένο μεΕπιστρώσεις TaC, ειδικά σχεδιασμένο για κλιβάνους ημιαγωγών. Σχεδιασμένη για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις των σύγχρονων διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών, αυτή η καινοτόμος τεχνολογία θέτει ένα νέο πρότυπο για ακρίβεια, αξιοπιστία και μακροζωία.
Στην καρδιά της κατασκευής ημιαγωγών βρίσκεται η κρίσιμη ανάγκη για ακριβή έλεγχο και σταθερότητα κατά την επεξεργασία. Το τσοκ επίστρωσης TaC αντιμετωπίζει αυτήν την ανάγκη ενσωματώνοντας προηγμένεςΕπιστρώσεις TaC (καρβίδιο τανταλίου).στην επιφάνειά του, εξασφαλίζοντας εξαιρετική θερμική σταθερότητα, ανθεκτικότητα και αντοχή στη χημική διάβρωση. Αυτός ο μοναδικός συνδυασμός υλικών όχι μόνο βελτιώνει την απόδοση του τσοκ, αλλά και επεκτείνει τη διάρκεια ζωής του, παρέχοντας σταθερά αποτελέσματα σε αμέτρητους κύκλους.
Ένα από τα βασικά πλεονεκτήματα του τσοκ επίστρωσης TaC είναι η ικανότητά του να διατηρεί υψηλό επίπεδο ακεραιότητας υπό κενό καθ' όλη τη διάρκεια του κύκλου επεξεργασίας. Με την αποτελεσματική ελαχιστοποίηση της εξάτμισης και της μόλυνσης, αυτή η τεχνολογία διασφαλίζει την καθαρότητα και την ποιότητα των υλικών ημιαγωγών, με αποτέλεσμα ανώτερη απόδοση και αξιοπιστία της συσκευής.
Επιπλέον, το τσοκ επίστρωσης TaC προσφέρει απαράμιλλη ευελιξία, φιλοξενώντας ένα ευρύ φάσμα υποστρωμάτων ημιαγωγών με διαφορετικά μεγέθη και γεωμετρίες. Ο προσαρμόσιμος σχεδιασμός του τσοκ επίστρωσης TaC επιτρέπει την απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε υπάρχοντα συστήματα κλιβάνων ημιαγωγών, ελαχιστοποιώντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας και μεγιστοποιώντας την παραγωγικότητα.
Με το τσοκ επίστρωσης TaC, οι κατασκευαστές ημιαγωγών μπορούν να επιτύχουν υψηλότερη απόδοση, βελτιωμένη απόδοση και μειωμένο συνολικό κόστος. Είτε σε ερευνητικά εργαστήρια είτε σε εγκαταστάσεις παραγωγής μεγάλου όγκου, αυτή η προηγμένη τεχνολογία δίνει τη δυνατότητα στους επαγγελματίες ημιαγωγούς να ξεπεράσουν τα όρια της καινοτομίας διατηρώντας παράλληλα αυστηρά πρότυπα ποιότητας.
με και χωρίς TaC
Μετά τη χρήση του TaC (δεξιά)
Επιπλέον, του SemiceraΠροϊόντα επικαλυμμένα με TaCπαρουσιάζουν μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και μεγαλύτερη αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες σε σύγκριση μεΕπιστρώσεις SiC.Εργαστηριακές μετρήσεις έχουν δείξει ότι μαςΕπιστρώσεις TaCμπορεί να λειτουργεί σταθερά σε θερμοκρασίες έως και 2300 βαθμούς Κελσίου για παρατεταμένες περιόδους. Παρακάτω είναι μερικά παραδείγματα δειγμάτων μας: