Η Semicera παρέχει εξειδικευμένες επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) για διάφορα εξαρτήματα και φορείς.Η κορυφαία διαδικασία επίστρωσης Semicera επιτρέπει στις επικαλύψεις καρβιδίου τανταλίου (TaC) να επιτυγχάνουν υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική ανοχή, βελτιώνοντας την ποιότητα του προϊόντος των κρυστάλλων SIC/GAN και των στρωμάτων EPI (Υποδοχέας TaC με επικάλυψη γραφίτη), και την παράταση της διάρκειας ζωής των βασικών εξαρτημάτων του αντιδραστήρα. Η χρήση της επίστρωσης TaC καρβιδίου του τανταλίου είναι για την επίλυση του προβλήματος των άκρων και τη βελτίωση της ποιότητας της ανάπτυξης κρυστάλλων, και η Semicera έχει μια σημαντική ανακάλυψη επίλυσης της τεχνολογίας επίστρωσης καρβιδίου του τανταλίου (CVD), φτάνοντας στο διεθνές προηγμένο επίπεδο.
Οι φορείς γκοφρέτας με επικάλυψη καρβιδίου του τανταλίου χρησιμοποιούνται ευρέως σε διαδικασίες επεξεργασίας και χειρισμού πλακιδίων σε διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών. Παρέχουν σταθερή υποστήριξη και προστασία για να εξασφαλίσουν την ασφάλεια, την ακρίβεια και τη συνοχή των γκοφρετών κατά τη διαδικασία κατασκευής. Οι επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου μπορούν να παρατείνουν τη διάρκεια ζωής του φορέα, να μειώσουν το κόστος και να βελτιώσουν την ποιότητα και την αξιοπιστία των προϊόντων ημιαγωγών.
Η περιγραφή του φορέα γκοφρέτας με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου έχει ως εξής:
1. Επιλογή υλικού: Το καρβίδιο του τανταλίου είναι ένα υλικό με εξαιρετική απόδοση, υψηλή σκληρότητα, υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στη διάβρωση και άριστες μηχανικές ιδιότητες, επομένως χρησιμοποιείται ευρέως στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών.
2. Επιφανειακή επίστρωση: Η επίστρωση καρβιδίου τανταλίου εφαρμόζεται στην επιφάνεια του φορέα γκοφρέτας μέσω ειδικής διαδικασίας επίστρωσης για να σχηματιστεί μια ομοιόμορφη και πυκνή επίστρωση καρβιδίου τανταλίου. Αυτή η επίστρωση μπορεί να παρέχει πρόσθετη προστασία και αντοχή στη φθορά, ενώ έχει καλή θερμική αγωγιμότητα.
3. Επιπεδότητα και ακρίβεια: Ο φορέας γκοφρέτας με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου έχει υψηλό βαθμό επιπεδότητας και ακρίβειας, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα και την ακρίβεια των γκοφρετών κατά τη διαδικασία κατασκευής. Η επιπεδότητα και το φινίρισμα της επιφάνειας φορέα είναι ζωτικής σημασίας για τη διασφάλιση της ποιότητας και της απόδοσης της γκοφρέτας.
4. Σταθερότητα θερμοκρασίας: Οι φορείς πλακιδίων με επικάλυψη καρβιδίου του τανταλίου μπορούν να διατηρήσουν σταθερότητα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας χωρίς παραμόρφωση ή χαλάρωση, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα και τη συνοχή των πλακών σε διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας.
5. Αντοχή στη διάβρωση: Οι επικαλύψεις καρβιδίου τανταλίου έχουν εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, μπορούν να αντισταθούν στη διάβρωση χημικών ουσιών και διαλυτών και προστατεύουν το φορέα από τη διάβρωση υγρών και αερίων.
με και χωρίς TaC
Μετά τη χρήση του TaC (δεξιά)
Επιπλέον, του SemiceraΠροϊόντα επικαλυμμένα με TaCπαρουσιάζουν μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και μεγαλύτερη αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες σε σύγκριση μεΕπιστρώσεις SiC.Εργαστηριακές μετρήσεις έχουν δείξει ότι μαςΕπιστρώσεις TaCμπορεί να λειτουργεί σταθερά σε θερμοκρασίες έως και 2300 βαθμούς Κελσίου για παρατεταμένες περιόδους. Παρακάτω είναι μερικά παραδείγματα δειγμάτων μας:
-
Πλανητική πλάκα επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου (TaC).
-
Προσαρμοσμένα ανταλλακτικά με επίστρωση καρβιδίου τανταλίου TaC CVD
-
Θερμαντήρας καρβιδίου τανταλίου MOCVD
-
Καπάκια με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου
-
Πλάκα στήριξης βάθρου με επίστρωση καρβιδίου τανταλίου
-
Καρβίδιο τανταλίου TaC CVD Coating Wafer Susceptor