Το TaC Coated Plate είναι ένας εξειδικευμένος δίσκος σχεδιασμένος για χρήση σε επιταξιακές διεργασίες SiC, κατασκευασμένος με ακρίβεια από υλικό γραφίτη υψηλής ποιότητας. Η επιφάνειά του είναι σχολαστικά επικαλυμμένη με καρβίδιο του τανταλίου (TaC), μια ένωση γνωστή για την εξαιρετική καθαρότητα και αντοχή του. Η επίστρωση TaC ενισχύει την ανθεκτικότητα και την αντοχή της πλάκας στις υψηλές θερμοκρασίες, καθιστώντας την ιδανική για τις απαιτητικές συνθήκες των επιταξιακών διεργασιών SiC.
Αυτή η πρωτοποριακή πλάκα με επίστρωση TaC είναι ένας εξειδικευμένος δίσκος σχεδιασμένος για χρήση σε επιταξιακές διεργασίες SiC, κατασκευασμένος με ακρίβεια από υλικό γραφίτη υψηλής ποιότητας. Η επιφάνεια της πλάκας με επίστρωση TaC είναι σχολαστικά επικαλυμμένη με καρβίδιο του τανταλίου (TaC), μια ένωση γνωστή για την εξαιρετική καθαρότητα και αντοχή του. χρησιμεύει ως μια αξιόπιστη πλατφόρμα για τη μεταφορά γκοφρετών κατά τη διάρκεια διαφόρων σταδίων της επιταξιακής ανάπτυξης του SiC. Η βάση του από γραφίτη υψηλής καθαρότητας παρέχει μια σταθερή και αδρανή επιφάνεια, ενώ η επίστρωση TaC προσθέτει ένα επιπλέον στρώμα προστασίας από χημικές αντιδράσεις και φθορά.
SemicεποχήΤο TaC Coated Plate προσαρμόζεται σύμφωνα με τις συγκεκριμένες απαιτήσεις των πελατών, εξασφαλίζοντας βέλτιστη απόδοση και συμβατότητα με τα επιταξιακά συστήματα SiC τους. Είτε πρόκειται για μέγεθος, σχήμα ή άλλες προδιαγραφές, αυτές οι πλάκες είναι προσαρμοσμένες για να καλύπτουν τις μοναδικές ανάγκες κάθε εφαρμογής.
με και χωρίς TaC
Μετά τη χρήση του TaC (δεξιά)
Επιπλέον, του SemiceraΠροϊόντα επικαλυμμένα με TaCπαρουσιάζουν μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και μεγαλύτερη αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες σε σύγκριση μεΕπιστρώσεις SiC.Εργαστηριακές μετρήσεις έχουν δείξει ότι μαςΕπιστρώσεις TaCμπορεί να λειτουργεί σταθερά σε θερμοκρασίες έως και 2300 βαθμούς Κελσίου για παρατεταμένες περιόδους. Παρακάτω είναι μερικά παραδείγματα δειγμάτων μας:
