Γκοφρέτες SOI

Σύντομη περιγραφή:

Η γκοφρέτα SOI είναι μια δομή που μοιάζει με σάντουιτς με τρία στρώματα. Συμπεριλαμβανομένου του άνω στρώματος (στρώμα συσκευής), του μέσου του θαμμένου στρώματος οξυγόνου (για το μονωτικό στρώμα SiO2) και του κάτω υποστρώματος (πυρίτιο χύμα). Οι γκοφρέτες SOI παράγονται με τη μέθοδο SIMOX και την τεχνολογία συγκόλλησης γκοφρέτας, η οποία επιτρέπει λεπτότερα και ακριβέστερα στρώματα συσκευών, ομοιόμορφο πάχος και χαμηλή πυκνότητα ελαττώματος.

Στείλτε μας email

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Γκοφρέτες SOI (1)

Πεδίο εφαρμογής

1. Ολοκληρωμένο κύκλωμα υψηλής ταχύτητας

2. Συσκευές μικροκυμάτων

3. Ολοκληρωμένο κύκλωμα υψηλής θερμοκρασίας

4. Συσκευές ισχύος

5. Ολοκληρωμένο κύκλωμα χαμηλής ισχύος

6. MEMS

7. Ολοκληρωμένο κύκλωμα χαμηλής τάσης

Είδος		Επιχείρημα
Ολικός	Διάμετρος γκοφρέτας 晶圆尺寸(mm)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	Τόξο/Στημόνι 翘曲度(	<10 χμ
	Σωματίδια 颗粒度(	0,3um<30ea
	Flats/Notch 定位边/定位槽	Επίπεδη ή εγκοπή
	Εξαίρεση άκρων 边缘去除(mm)	/
Επίπεδο συσκευής 器件层	Τύπος στρώσης συσκευής/Εξάρτηση 器件层掺杂类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb / As
	Προσανατολισμός επιπέδου συσκευής 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Πάχος στρώσης συσκευής 器件层厚度(um)	0,1~300 μ
	Αντίσταση στρώσης συσκευής 器件层电阻率(ohm•cm)	0,001~100.000 ohm-cm
	Σωματίδια στρώσης συσκευής 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	Επίπεδο συσκευής TTV 器件层TTV(	<10 χμ
	Φινίρισμα επιπέδου συσκευής 器件层表面处理	Αμεμπτος
ΚΟΥΤΙ	Πάχος θαμμένου θερμικού οξειδίου 埋氧层厚度(um)	50nm (500Å)~15um
Στρώμα λαβής 衬底	Λαβή Γκοφρέτα Τύπος/Dopant 衬底层类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb / As
	Προσανατολισμός λαβής γκοφρέτας 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Αντιστάσεις λαβής γκοφρέτας 衬底电阻率(ohm•cm)	0,001~100.000 ohm-cm
	Πάχος γκοφρέτας λαβής 衬底厚度(um)	>100μ
	Φινίρισμα γκοφρέτας λαβής 衬底表面处理	Αμεμπτος
Οι γκοφρέτες SOI προδιαγραφών στόχου μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη.