Γκοφρέτες SOI

Σύντομη περιγραφή:

Η γκοφρέτα SOI είναι μια δομή που μοιάζει με σάντουιτς με τρία στρώματα. Συμπεριλαμβανομένου του άνω στρώματος (στρώμα συσκευής), του μέσου του θαμμένου στρώματος οξυγόνου (για το μονωτικό στρώμα SiO2) και του κάτω υποστρώματος (πυρίτιο χύμα). Οι γκοφρέτες SOI παράγονται με τη μέθοδο SIMOX και την τεχνολογία συγκόλλησης γκοφρέτας, η οποία επιτρέπει λεπτότερα και ακριβέστερα στρώματα συσκευών, ομοιόμορφο πάχος και χαμηλή πυκνότητα ελαττώματος.


Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Γκοφρέτες SOI (1)

Πεδίο εφαρμογής

1. Ολοκληρωμένο κύκλωμα υψηλής ταχύτητας

2. Συσκευές μικροκυμάτων

3. Ολοκληρωμένο κύκλωμα υψηλής θερμοκρασίας

4. Συσκευές ισχύος

5. Ολοκληρωμένο κύκλωμα χαμηλής ισχύος

6. MEMS

7. Ολοκληρωμένο κύκλωμα χαμηλής τάσης

Είδος

Επιχείρημα

Ολικός

Διάμετρος γκοφρέτας
晶圆尺寸(mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Τόξο/Στημόνι
翘曲度(

<10 χμ

Σωματίδια
颗粒度(

0,3um<30ea

Flats/Notch
定位边/定位槽

Επίπεδη ή εγκοπή

Εξαίρεση άκρων
边缘去除(mm)

/

Επίπεδο συσκευής
器件层

Τύπος στρώσης συσκευής/Εξάρτηση
器件层掺杂类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb / As

Προσανατολισμός επιπέδου συσκευής
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Πάχος στρώσης συσκευής
器件层厚度(um)

0,1~300 μ

Αντίσταση στρώσης συσκευής
器件层电阻率(ohm•cm)

0,001~100.000 ohm-cm

Σωματίδια στρώσης συσκευής
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

Επίπεδο συσκευής TTV
器件层TTV(

<10 χμ

Φινίρισμα επιπέδου συσκευής
器件层表面处理

Αμεμπτος

ΚΟΥΤΙ

Πάχος θαμμένου θερμικού οξειδίου
埋氧层厚度(um)

50nm (500Å)~15um

Στρώμα λαβής
衬底

Λαβή Γκοφρέτα Τύπος/Dopant
衬底层类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb / As

Προσανατολισμός λαβής γκοφρέτας
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Αντιστάσεις λαβής γκοφρέτας
衬底电阻率(ohm•cm)

0,001~100.000 ohm-cm

Πάχος γκοφρέτας λαβής
衬底厚度(um)

>100μ

Φινίρισμα γκοφρέτας λαβής
衬底表面处理

Αμεμπτος

Οι γκοφρέτες SOI προδιαγραφών-στόχων μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη.

Χώρος εργασίας Semicera Χώρος εργασίας Semicera 2

Μηχάνημα εξοπλισμούΕπεξεργασία CNN, χημικός καθαρισμός, επίστρωση CVD

Η υπηρεσία μας


  • Προηγούμενος:
  • Επόμενος: