Επισκόπηση προϊόντος
ΟΚουτί και φορέας γκοφρέτας εμποτισμένο με πυρίτιο (SiC)έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις απαιτητικές απαιτήσεις των εφαρμογών θερμικής επεξεργασίας ημιαγωγών. Κατασκευασμένο από SiC υψηλής καθαρότητας και ενισχυμένο μέσω εμποτισμού πυριτίου, αυτό το προϊόν προσφέρει έναν μοναδικό συνδυασμό απόδοσης σε υψηλή θερμοκρασία, εξαιρετικής θερμικής αγωγιμότητας, αντοχής στη διάβρωση και εξαιρετικής μηχανικής αντοχής.
Ενσωματώνοντας την προηγμένη επιστήμη των υλικών με την κατασκευή ακριβείας, αυτή η λύση εξασφαλίζει ανώτερη απόδοση, αξιοπιστία και ανθεκτικότητα για τους κατασκευαστές ημιαγωγών.
Βασικά Χαρακτηριστικά
1.Εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες
Με σημείο τήξης άνω των 2700°C, τα υλικά SiC είναι εγγενώς σταθερά κάτω από ακραία θερμότητα. Ο εμποτισμός με πυρίτιο ενισχύει περαιτέρω τη θερμική τους σταθερότητα, επιτρέποντάς τους να αντέχουν την παρατεταμένη έκθεση σε υψηλές θερμοκρασίες χωρίς δομική εξασθένηση ή υποβάθμιση της απόδοσης.
2.Ανώτερη θερμική αγωγιμότητα
Η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα του εμποτισμένου με πυρίτιο SiC εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας, μειώνοντας τη θερμική καταπόνηση κατά τα κρίσιμα στάδια επεξεργασίας. Αυτή η ιδιότητα παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού και ελαχιστοποιεί το χρόνο διακοπής παραγωγής, καθιστώντας τον ιδανικό για θερμική επεξεργασία σε υψηλή θερμοκρασία.
3.Αντοχή στην οξείδωση και τη διάβρωση
Ένα ισχυρό στρώμα οξειδίου του πυριτίου σχηματίζεται φυσικά στην επιφάνεια, παρέχοντας εξαιρετική αντοχή στην οξείδωση και τη διάβρωση. Αυτό εξασφαλίζει μακροπρόθεσμη αξιοπιστία σε σκληρά περιβάλλοντα λειτουργίας, προστατεύοντας τόσο το υλικό όσο και τα γύρω εξαρτήματα.
4.Υψηλή μηχανική αντοχή και αντοχή στη φθορά
Το εμποτισμένο με πυρίτιο SiC διαθέτει εξαιρετική αντοχή στη θλίψη και αντοχή στη φθορά, διατηρώντας τη δομική του ακεραιότητα σε συνθήκες υψηλού φορτίου και υψηλής θερμοκρασίας. Αυτό μειώνει τον κίνδυνο ζημιάς που σχετίζεται με τη φθορά, διασφαλίζοντας σταθερή απόδοση σε εκτεταμένους κύκλους χρήσης.
Προδιαγραφές
| Όνομα προϊόντος | SC-RSiC-Si |
| Υλικό | Εμποτισμός πυριτίου Συμπαγές καρβίδιο πυριτίου (υψηλής καθαρότητας) |
| Εφαρμογές | Μέρη θερμικής επεξεργασίας ημιαγωγών, εξαρτήματα εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών |
| Έντυπο παράδοσης | Χυτό σώμα (Σώμα πυροσυσσωματωμένο) |
| Σύνθεση | Μηχανική Ιδιότητα | Young's Modulus (GPa) | Αντοχή κάμψης (MPa) | ||
| Σύνθεση (vol%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Μαζική πυκνότητα (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Θερμοκρασία °C | 1350 | Αναλογία Poisson | 0,18 (RT) | ||
| Θερμική ιδιοκτησία | Θερμική αγωγιμότητα (Β/(μ· Κ)) | Ειδική Θερμοχωρητικότητα (kJ/(kg·K)) | Συντελεστής Θερμικής Διαστολής (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3 x 10-6 | |
| Περιεχόμενο προσμίξεων ((ppm) | |||||||||||||
| Στοιχείο | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Ποσοστό περιεχομένου | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0.3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Εφαρμογές
▪Θερμική επεξεργασία ημιαγωγών:Ιδανικό για διεργασίες όπως η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD), η επιταξιακή ανάπτυξη και η ανόπτηση, όπου ο ακριβής έλεγχος θερμοκρασίας και η ανθεκτικότητα του υλικού είναι ζωτικής σημασίας.
▪Γκοφρέτες και κουπιά:Σχεδιασμένο για να συγκρατεί και να μεταφέρει με ασφάλεια τις γκοφρέτες κατά τη διάρκεια θερμικών επεξεργασιών υψηλής θερμοκρασίας.
▪Ακραία περιβάλλοντα λειτουργίας: Κατάλληλο για ρυθμίσεις που απαιτούν αντοχή στη θερμότητα, την έκθεση σε χημικές ουσίες και τη μηχανική καταπόνηση.
Πλεονεκτήματα του SiC εμποτισμένου με πυρίτιο
Ο συνδυασμός καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας και προηγμένης τεχνολογίας εμποτισμού πυριτίου προσφέρει απαράμιλλα οφέλη απόδοσης:
▪Ακρίβεια:Ενισχύει την ακρίβεια και τον έλεγχο της επεξεργασίας ημιαγωγών.
▪Σταθερότητα:Αντέχει σε σκληρά περιβάλλοντα χωρίς συμβιβασμούς στη λειτουργικότητα.
▪Μακροβιότητα:Παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών.
▪Αποδοτικότητα:Βελτιώνει την παραγωγικότητα εξασφαλίζοντας αξιόπιστα και συνεπή αποτελέσματα.
Γιατί να επιλέξετε τις λύσεις SiC μας εμποτισμένες με πυρίτιο;
At Ημικερά, ειδικευόμαστε στην παροχή λύσεων υψηλής απόδοσης προσαρμοσμένες στις ανάγκες των κατασκευαστών ημιαγωγών. Το κουπί και ο φορέας γκοφρέτας με καρβίδιο πυριτίου εμποτισμένο με πυρίτιο υποβάλλονται σε αυστηρές δοκιμές και διασφάλιση ποιότητας για να πληρούν τα βιομηχανικά πρότυπα. Επιλέγοντας το Semicera, αποκτάτε πρόσβαση σε υλικά αιχμής που έχουν σχεδιαστεί για τη βελτιστοποίηση των διαδικασιών παραγωγής σας και την ενίσχυση των παραγωγικών σας δυνατοτήτων.
Τεχνικές Προδιαγραφές
▪Σύνθεση υλικού:Καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας με εμποτισμό πυριτίου.
▪Εύρος θερμοκρασίας λειτουργίας:Έως 2700°C.
▪ Θερμική αγωγιμότητα:Εξαιρετικά υψηλό για ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας.
▪Ιδιότητες αντίστασης:Ανθεκτικό στην οξείδωση, στη διάβρωση και στη φθορά.
▪Εφαρμογές:Συμβατό με διάφορα συστήματα θερμικής επεξεργασίας ημιαγωγών.
Επικοινωνήστε μαζί μας
Είστε έτοιμοι να αναβαθμίσετε τη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών σας; ΕπαφήΗμικεράσήμερα για να μάθετε περισσότερα για το κουπί και το φορέα γκοφρέτας με καρβίδιο πυριτίου εμποτισμένο με πυρίτιο.
▪E-mail: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Τηλέφωνο: +86-0574-8650 3783
▪Τοποθεσία:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang Province, 315201, China
