του SemiceraΕπιταξία καρβιδίου πυριτίουέχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις των σύγχρονων εφαρμογών ημιαγωγών. Χρησιμοποιώντας προηγμένες τεχνικές επιταξιακής ανάπτυξης, διασφαλίζουμε ότι κάθε στρώμα καρβιδίου του πυριτίου παρουσιάζει εξαιρετική κρυσταλλική ποιότητα, ομοιομορφία και ελάχιστη πυκνότητα ελαττώματος. Αυτά τα χαρακτηριστικά είναι ζωτικής σημασίας για την ανάπτυξη ηλεκτρονικών ισχύος υψηλής απόδοσης, όπου η απόδοση και η θερμική διαχείριση είναι πρωταρχικής σημασίας.
ΟΕπιταξία καρβιδίου πυριτίουΗ διαδικασία στο Semicera είναι βελτιστοποιημένη για την παραγωγή επιταξιακών στρωμάτων με ακριβές πάχος και έλεγχο ντόπινγκ, εξασφαλίζοντας σταθερή απόδοση σε μια σειρά συσκευών. Αυτό το επίπεδο ακρίβειας είναι απαραίτητο για εφαρμογές σε ηλεκτρικά οχήματα, συστήματα ανανεώσιμων πηγών ενέργειας και επικοινωνίες υψηλής συχνότητας, όπου η αξιοπιστία και η αποτελεσματικότητα είναι ζωτικής σημασίας.
Επιπλέον, του SemiceraΕπιταξία καρβιδίου πυριτίουπροσφέρει ενισχυμένη θερμική αγωγιμότητα και υψηλότερη τάση διάσπασης, καθιστώντας το την προτιμώμενη επιλογή για συσκευές που λειτουργούν υπό ακραίες συνθήκες. Αυτές οι ιδιότητες συμβάλλουν στη μεγαλύτερη διάρκεια ζωής της συσκευής και στη βελτίωση της συνολικής απόδοσης του συστήματος, ιδιαίτερα σε περιβάλλοντα υψηλής ισχύος και υψηλής θερμοκρασίας.
Το Semicera παρέχει επίσης επιλογές προσαρμογής γιαΕπιταξία καρβιδίου πυριτίου, επιτρέποντας προσαρμοσμένες λύσεις που πληρούν συγκεκριμένες απαιτήσεις συσκευών. Είτε για έρευνα είτε για παραγωγή μεγάλης κλίμακας, τα επιταξιακά στρώματά μας έχουν σχεδιαστεί για να υποστηρίζουν την επόμενη γενιά καινοτομιών ημιαγωγών, επιτρέποντας την ανάπτυξη πιο ισχυρών, αποτελεσματικών και αξιόπιστων ηλεκτρονικών συσκευών.
Ενσωματώνοντας τεχνολογία αιχμής και αυστηρές διαδικασίες ποιοτικού ελέγχου, η Semicera διασφαλίζει ότι μαςΕπιταξία καρβιδίου πυριτίουτα προϊόντα όχι μόνο πληρούν αλλά και υπερβαίνουν τα πρότυπα του κλάδου. Αυτή η δέσμευση για την αριστεία καθιστά τα επιταξιακά μας στρώματα την ιδανική βάση για προηγμένες εφαρμογές ημιαγωγών, ανοίγοντας το δρόμο για καινοτομίες στα ηλεκτρονικά ισχύος και την οπτοηλεκτρονική.
| Είδη | Παραγωγή | Ερευνα | Ανδρείκελο |
| Παράμετροι Κρυστάλλων | |||
| Πολύτυπος | 4H | ||
| Σφάλμα προσανατολισμού επιφάνειας | <11-20 >4±0,15° | ||
| Ηλεκτρικές Παράμετροι | |||
| Dopant | Άζωτο n τύπου | ||
| Αντίσταση | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Μηχανικές Παράμετροι | |||
| Διάμετρος | 150,0±0,2 χλστ | ||
| Πάχος | 350±25 μm | ||
| Πρωτεύων επίπεδος προσανατολισμός | [1-100]±5° | ||
| Πρωτεύον επίπεδο μήκος | 47,5±1,5 χλστ | ||
| Δευτερεύον διαμέρισμα | Κανένας | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Τόξο | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Στημόνι | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Μπροστινή (Si-face) τραχύτητα (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Δομή | |||
| Πυκνότητα μικροσωλήνων | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Ακαθαρσίες μετάλλων | ≤5E10άτομα/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ποιότητα εμπρός | |||
| Εμπρός | Si | ||
| Φινίρισμα επιφάνειας | Si-face CMP | ||
| Σωματίδια | ≤60ea/γκοφρέτα (μέγεθος≥0,3μm) | NA | |
| Γρατσουνιές | ≤5ea/mm. Αθροιστικό μήκος ≤Διάμετρος | Αθροιστικό μήκος≤2*Διάμετρος | NA |
| Φλούδα πορτοκαλιού/κουκούτσια/λεκέδες/ραβδώσεις/ρωγμές/μόλυνση | Κανένας | NA | |
| Τσιπ άκρων/εσοχές/θραύσεις/εξάγωνες πλάκες | Κανένας | ||
| Πολυτυπικές περιοχές | Κανένας | Σωρευτική περιοχή≤20% | Σωρευτική περιοχή≤30% |
| Μπροστινή σήμανση λέιζερ | Κανένας | ||
| Πίσω Ποιότητα | |||
| Πίσω φινίρισμα | CMP προσώπου C | ||
| Γρατσουνιές | ≤5ea/mm,Σωρευτικό μήκος≤2*Διάμετρος | NA | |
| Ελαττώματα πλάτης (τσιπ άκρων/εσοχές) | Κανένας | ||
| Τραχύτητα πλάτης | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Πίσω σήμανση λέιζερ | 1 mm (από την επάνω άκρη) | ||
| Ακρη | |||
| Ακρη | Λοξότμηση | ||
| Συσκευασία | |||
| Συσκευασία | Epi-ready με συσκευασία κενού αέρος Συσκευασία κασέτα πολλαπλών γκοφρετών | ||
| *Σημειώσεις: "NA" σημαίνει κανένα αίτημα Τα στοιχεία που δεν αναφέρονται ενδέχεται να αναφέρονται σε SEMI-STD. | |||
