Επικάλυψη γραφίτη με καρβίδιο πυριτίου

Σύντομη περιγραφή:

Το Semicera Semiconductor's Coating Graphite Susceptor από καρβίδιο πυριτίου παρέχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και ανθεκτικότητα για εφαρμογές επιταξίας. Βασιστείτε στο Semicera για προηγμένους υποδοχείς που έχουν σχεδιαστεί για να βελτιώνουν τις επιταξιακές διεργασίες σας με ανώτερη τεχνολογία επίστρωσης SiC.


Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Περιγραφή

Οι υποδοχείς γραφίτη με επίστρωση SiC της Semicera κατασκευάζονται χρησιμοποιώντας υποστρώματα γραφίτη υψηλής ποιότητας, τα οποία επικαλύπτονται σχολαστικά με καρβίδιο του πυριτίου (SiC) μέσω προηγμένων διαδικασιών Εναπόθεσης Χημικών Ατμών (CVD). Αυτός ο καινοτόμος σχεδιασμός εξασφαλίζει εξαιρετική αντοχή σε θερμικό σοκ και χημική υποβάθμιση, επεκτείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής του επικαλυμμένου με SiC υποδοχέα γραφίτη και εξασφαλίζοντας αξιόπιστη απόδοση σε όλη τη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών.

Βασικά Χαρακτηριστικά:

1. Ανώτερη θερμική αγωγιμότηταΟ επικαλυμμένος με SiC υποδοχέας γραφίτη παρουσιάζει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, η οποία είναι ζωτικής σημασίας για την αποτελεσματική απαγωγή θερμότητας κατά την κατασκευή ημιαγωγών. Αυτό το χαρακτηριστικό ελαχιστοποιεί τις θερμικές διαβαθμίσεις στην επιφάνεια του πλακιδίου, προάγοντας την ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας που είναι απαραίτητη για την επίτευξη των επιθυμητών ιδιοτήτων ημιαγωγών.

2. Ισχυρή χημική και θερμική αντίστασηΗ επίστρωση SiC παρέχει τρομερή προστασία από τη χημική διάβρωση και το θερμικό σοκ, διατηρώντας την ακεραιότητα του υποδοχέα γραφίτη ακόμη και σε σκληρά περιβάλλοντα επεξεργασίας. Αυτή η βελτιωμένη ανθεκτικότητα μειώνει τον χρόνο διακοπής λειτουργίας και παρατείνει τη διάρκεια ζωής, συμβάλλοντας στην αύξηση της παραγωγικότητας και της οικονομικής απόδοσης στις εγκαταστάσεις παραγωγής ημιαγωγών.

3. Προσαρμογή για συγκεκριμένες ανάγκεςΟι υποδοχείς γραφίτη με επίστρωση SiC μπορούν να προσαρμοστούν ώστε να πληρούν συγκεκριμένες απαιτήσεις και προτιμήσεις. Προσφέρουμε μια σειρά από επιλογές προσαρμογής, συμπεριλαμβανομένων προσαρμογών μεγέθους και παραλλαγών στο πάχος της επίστρωσης, για να διασφαλίσουμε την ευελιξία του σχεδιασμού και τη βελτιστοποιημένη απόδοση για διαφορετικές εφαρμογές και παραμέτρους διαδικασίας.

Εφαρμογές:

Εφαρμογές Οι επικαλύψεις Semicera SiC χρησιμοποιούνται σε διάφορα στάδια της κατασκευής ημιαγωγών, όπως:
1. -Κατασκευή τσιπ LED
2. -Παραγωγή Πολυπυριτίου
3. -Ανάπτυξη κρυστάλλων ημιαγωγών
4. -Επιταξία πυριτίου και SiC
5. -Θερμική οξείδωση και διάχυση (TO&D)

Τεχνικά Χαρακτηριστικά:

微信截图_20240wert729144258
Semicera Χώρος εργασίας
Χώρος εργασίας Semicera 2
Μηχάνημα εξοπλισμού
Επεξεργασία CNN, χημικός καθαρισμός, επίστρωση CVD
Αποθήκη Semicera
Η υπηρεσία μας

  • Προηγούμενος:
  • Επόμενος: