Φορείς επίστρωσης SiC για χάραξη ημιαγωγών

Σύντομη περιγραφή:

Η Semicera Energy Technology Co., Ltd. είναι κορυφαίος προμηθευτής προηγμένων κεραμικών ημιαγωγών.Τα κύρια προϊόντα μας περιλαμβάνουν: δίσκους χαραγμένους με καρβίδιο πυριτίου, ρυμουλκούμενα σκάφους καρβιδίου πυριτίου, πλοία γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου (PV & Semiconductor), σωλήνες φούρνου καρβιδίου πυριτίου, κουπιά πρόβολου καρβιδίου πυριτίου, τσοκ καρβιδίου πυριτίου, δοκούς καρβιδίου πυριτίου και δοκούς C και C, καθώς και Επιστρώσεις TaC.

Τα προϊόντα χρησιμοποιούνται κυρίως στις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών, όπως η ανάπτυξη κρυστάλλων, η επιταξία, η χάραξη, η συσκευασία, η επίστρωση και ο εξοπλισμός κλιβάνων διάχυσης.

 

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Περιγραφή

Η εταιρεία μας παρέχει υπηρεσίες διεργασίας επίστρωσης SiC με τη μέθοδο CVD σε επιφάνεια γραφίτη, κεραμικών και άλλων υλικών, έτσι ώστε ειδικά αέρια που περιέχουν άνθρακα και πυρίτιο να αντιδρούν σε υψηλή θερμοκρασία για να ληφθούν μόρια SiC υψηλής καθαρότητας, μόρια που εναποτίθενται στην επιφάνεια των επικαλυμμένων υλικών. σχηματίζοντας προστατευτικό στρώμα SIC.

Κύρια χαρακτηριστικά

1. Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία:
η αντίσταση στην οξείδωση είναι ακόμα πολύ καλή όταν η θερμοκρασία είναι τόσο υψηλή όσο 1600 C.
2. Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με χημική εναπόθεση ατμού υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
3. Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, συμπαγής επιφάνεια, λεπτά σωματίδια.
4. Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, αλάτι και οργανικά αντιδραστήρια.

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC

Ιδιότητες SiC-CVD

Κρυσταλλική Δομή FCC β φάση
Πυκνότητα g/cm ³ 3.21
Σκληρότητα Σκληρότητα Vickers 2500
Μέγεθος κόκκου μm 2~10
Χημική Καθαρότητα % 99,99995
Θερμοχωρητικότητα J·kg-1·K-1 640
Θερμοκρασία εξάχνωσης 2700
Καμπυλική δύναμη MPa (RT 4 σημείων) 415
Το Modulus του Young Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) 430
Θερμική Διαστολή (CTE) 10-6K-1 4.5
Θερμική αγωγιμότητα (W/mK) 300
Χώρος εργασίας Semicera
Χώρος εργασίας Semicera 2
Μηχάνημα εξοπλισμού
Επεξεργασία CNN, χημικός καθαρισμός, επίστρωση CVD
Η υπηρεσία μας

  • Προηγούμενος:
  • Επόμενο: