Ημικεράείναι στην ευχάριστη θέση να προσφέρει τοΚασέτα PFA, μια κορυφαία επιλογή για χειρισμό γκοφρέτας σε περιβάλλοντα όπου η χημική αντοχή και η ανθεκτικότητα είναι πρωταρχικής σημασίας. Κατασκευασμένη από υλικό υψηλής καθαρότητας υπερφθοροαλκόξυ (PFA), αυτή η κασέτα έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στις πιο απαιτητικές συνθήκες στην κατασκευή ημιαγωγών, διασφαλίζοντας την ασφάλεια και την ακεραιότητα των γκοφρετών σας.
Απαράμιλλη χημική αντοχήΟΚασέτα PFAέχει σχεδιαστεί για να παρέχει ανώτερη αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, καθιστώντας το την τέλεια επιλογή για διαδικασίες που περιλαμβάνουν επιθετικά οξέα, διαλύτες και άλλες σκληρές χημικές ουσίες. Αυτή η ισχυρή χημική αντίσταση διασφαλίζει ότι η κασέτα παραμένει ανέπαφη και λειτουργική ακόμη και στα πιο διαβρωτικά περιβάλλοντα, επεκτείνοντας έτσι τη διάρκεια ζωής της και μειώνοντας την ανάγκη για συχνές αντικαταστάσεις.
Κατασκευή υψηλής καθαρότηταςτου SemiceraΚασέτα PFAκατασκευάζεται από εξαιρετικά καθαρό υλικό PFA, το οποίο είναι κρίσιμο για την πρόληψη της μόλυνσης κατά την επεξεργασία του πλακιδίου. Αυτή η κατασκευή υψηλής καθαρότητας ελαχιστοποιεί τον κίνδυνο δημιουργίας σωματιδίων και χημικής έκπλυσης, διασφαλίζοντας ότι οι γκοφρέτες σας προστατεύονται από ακαθαρσίες που θα μπορούσαν να θέσουν σε κίνδυνο την ποιότητά τους.
Βελτιωμένη αντοχή και απόδοσηΣχεδιασμένο για ανθεκτικότητα, τοΚασέτα PFAδιατηρεί τη δομική του ακεραιότητα κάτω από ακραίες θερμοκρασίες και αυστηρές συνθήκες επεξεργασίας. Είτε εκτίθεται σε υψηλές θερμοκρασίες είτε υπόκειται σε επαναλαμβανόμενο χειρισμό, αυτή η κασέτα διατηρεί το σχήμα και την απόδοσή της, προσφέροντας μακροπρόθεσμη αξιοπιστία σε απαιτητικά περιβάλλοντα παραγωγής.
Μηχανική Ακρίβειας για Ασφαλή ΧειρισμόΟSemicera PFA κασέταδιαθέτει ακριβή μηχανική που εξασφαλίζει ασφαλή και σταθερό χειρισμό γκοφρέτας. Κάθε υποδοχή είναι προσεκτικά σχεδιασμένη για να συγκρατεί τις γκοφρέτες με ασφάλεια στη θέση τους, αποτρέποντας οποιαδήποτε κίνηση ή μετατόπιση που θα μπορούσε να οδηγήσει σε ζημιά. Αυτή η μηχανική ακριβείας υποστηρίζει συνεπή και ακριβή τοποθέτηση πλακιδίων, συμβάλλοντας στη συνολική αποτελεσματικότητα της διαδικασίας.
Ευέλικτη εφαρμογή σε όλες τις διαδικασίεςΧάρη στις ανώτερες ιδιότητες του υλικού, τοΚασέτα PFAείναι αρκετά ευέλικτο ώστε να χρησιμοποιείται σε διάφορα στάδια της κατασκευής ημιαγωγών. Είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για υγρή χάραξη, εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) και άλλες διεργασίες που περιλαμβάνουν σκληρά χημικά περιβάλλοντα. Η προσαρμοστικότητά του το καθιστά απαραίτητο εργαλείο για τη διατήρηση της ακεραιότητας της διαδικασίας και της ποιότητας της γκοφρέτας.
Δέσμευση στην Ποιότητα και την ΚαινοτομίαΣτη Semicera, δεσμευόμαστε να παρέχουμε προϊόντα που πληρούν τα υψηλότερα πρότυπα του κλάδου. ΟΚασέτα PFAαποτελεί παράδειγμα αυτής της δέσμευσης, προσφέροντας μια αξιόπιστη λύση που ενσωματώνεται απρόσκοπτα στις διαδικασίες παραγωγής σας. Κάθε κασέτα υποβάλλεται σε αυστηρό ποιοτικό έλεγχο για να διασφαλιστεί ότι πληροί τα αυστηρά μας κριτήρια απόδοσης, προσφέροντας την αριστεία που περιμένετε από τη Semicera.
| Είδη | Παραγωγή | Ερευνα | Ανδρείκελο |
| Παράμετροι Κρυστάλλων | |||
| Πολύτυπος | 4H | ||
| Σφάλμα προσανατολισμού επιφάνειας | <11-20 >4±0,15° | ||
| Ηλεκτρικές Παράμετροι | |||
| Dopant | Άζωτο n τύπου | ||
| Αντίσταση | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Μηχανικές Παράμετροι | |||
| Διάμετρος | 150,0±0,2 χλστ | ||
| Πάχος | 350±25 μm | ||
| Πρωτεύων επίπεδος προσανατολισμός | [1-100]±5° | ||
| Πρωτεύον επίπεδο μήκος | 47,5±1,5 χλστ | ||
| Δευτερεύον διαμέρισμα | Κανένας | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Τόξο | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Στημόνι | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Μπροστινή (Si-face) τραχύτητα (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Δομή | |||
| Πυκνότητα μικροσωλήνων | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Ακαθαρσίες μετάλλων | ≤5E10άτομα/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ποιότητα εμπρός | |||
| Εμπρός | Si | ||
| Φινίρισμα επιφάνειας | Si-face CMP | ||
| Σωματίδια | ≤60ea/γκοφρέτα (μέγεθος≥0,3μm) | NA | |
| Γρατσουνιές | ≤5ea/mm. Αθροιστικό μήκος ≤Διάμετρος | Αθροιστικό μήκος≤2*Διάμετρος | NA |
| Φλούδα πορτοκαλιού/κουκούτσια/λεκέδες/ραβδώσεις/ ρωγμές/μόλυνση | Κανένας | NA | |
| Τσιπ άκρων/εσοχές/θραύσεις/εξάγωνες πλάκες | Κανένας | ||
| Πολυτυπικές περιοχές | Κανένας | Σωρευτική περιοχή≤20% | Σωρευτική περιοχή≤30% |
| Μπροστινή σήμανση λέιζερ | Κανένας | ||
| Πίσω Ποιότητα | |||
| Πίσω φινίρισμα | CMP προσώπου C | ||
| Γρατσουνιές | ≤5ea/mm,Σωρευτικό μήκος≤2*Διάμετρος | NA | |
| Ελαττώματα πλάτης (τσιπ άκρων/εσοχές) | Κανένας | ||
| Τραχύτητα πλάτης | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Πίσω σήμανση λέιζερ | 1 mm (από την επάνω άκρη) | ||
| Ακρη | |||
| Ακρη | Λοξότμηση | ||
| Συσκευασία | |||
| Συσκευασία | Epi-ready με συσκευασία κενού αέρος Συσκευασία κασέτα πολλαπλών γκοφρετών | ||
| *Σημειώσεις: "NA" σημαίνει κανένα αίτημα Τα στοιχεία που δεν αναφέρονται ενδέχεται να αναφέρονται σε SEMI-STD. | |||
