Εισαγωγή του φορέα γκοφρέτας
ΚΑΤΗΓΟΡΙΑ ΠΡΟΪΟΝΤΩΝ
▶Σύστημα μεταφοράς γκοφρέτας για διαδικασία PECVD & TALOX
• Σκάφος γραφίτη PECVD & TALOX (M4~M12)
• Κάθετο SM-Boat (M4, M6)
• Εξάρτημα γραφίτη εμφυτεύματος και ντους (M4~M6)
• Δίσκος C/C & Κεραμική Επικάλυψη
• Μεταλλικό RIE-Δίσκος & Κεραμική Επικάλυψη
• Στεγανοποίηση κενού : O-Ring & SQ-Ring
▶Διαδικασία μεταφοράς υφής & υγρής χάραξης
• LSC H-Carrier ή κασέτα (M4~M12)
• LSC V-Carrier ή κασέτα (M4~M12)
• Φορέας ή κασέτα ASC (M4, M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4~M12)
• Σειρά Τροχού Μεταφοράς (Ρολό).
▶Φορέας ηλιακών κυψελών & Μεταλλικός φορέας
• Μεταφορέας TRC ή κασέτα (M4~M12)
• Περιοδικό (με ΖΩΝΗ)
ΣΚΑΦΟΣ ΓΡΑΦΙΤΗ (Τύπος Η)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ΣΚΑΦΟΣ ΓΡΑΦΙΤΗ (Τύπος Η)
21P6-240CT WF M4~M12)
ΣΚΑΦΟΣ ΓΡΑΦΙΤΗ (Τύπος Η)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ΣΚΑΦΟΣ ΓΡΑΦΙΤΗ (Τύπος Η)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ΣΚΑΦΟΣ ΓΡΑΦΙΤΗ (Τύπος Η)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF CARRIER & STORAGE BOX (~M12)
ΔΙΣΚΙ C/C ή CARRIER (M4~M10)
ΔΙΣΚΙ C/C ή CARRIER (M4~M10)
ΚΑΘΕΤΟ ΣΚΑΦΟΣ (SM) Μ6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
GRAPHITE-BOAT(M12)
Σύστημα μεταφοράς γκοφρέτας για διαδικασία PECVD
▶ GRAPHITE BOAT (CT-Designed) M10/M12 Process
• ΕΙΔΙΚΟ ΣΧΕΔΙΑΣΜΟ
▶ GRAPHITE BOAT (CT-Designed) M4/M6 Process
▶ Αξεσουάρ BOAT
▶ ΚΑΘΕΤΟ ΣΚΑΦΟΣ-161,7mm ΓΚΟΦΡΟΛΑ
▶ ΚΑΘΕΤΟ ΣΚΑΦΟΣ-166mm ΓΚΟΦΡΟΛΑ
▶ ΚΑΘΕΤΟ ΣΚΑΦΟΣ-161,7mm, 166mm ΓΚΟΦΡΟΛΑ
Φορέας ηλιακών κυψελών & Μεταλλικός φορέας TRC
ΤΥΠΟΣ: Αυτοματισμός
ΜΕΓΕΘΟΣ ΓΚΟΦΡΑΣ: ① 156×156mm ② 156,75×156,75mm
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
ΧΡΗΣΗ: Μεταφορά (Κασέτα)
ΧΩΡΗΤΙΚΟΤΗΤΑ: 100 φύλλα
ΒΗΜΑ: 4,76mm/5,953mm/6,35mm
ΔΙΑΣΤΑΣΗ: Περίπου 559×220×220mm
Περίπου 712×260×260mm
ΠΛΕΟΝΕΚΤΗΜΑ: Ατμόσφαιρα
ΥΛΙΚΟ: ΦΛΟΓΑ, ΠΛΑΪΝΗ ΜΠΑΡ-Αλουμίνιο (ανοδίωση)
SIDE PLATE-POM (Αντιστατικό)
Κάλυμμα κάτω ράβδου-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
ΠΛΑΚΑ & ΕΜΦΥΤΕΥΜΑ ΝΤΟΥΣ, ΦΟΡΕΑΣ
