Η έλαση αναφέρεται στη διαδικασία λείανσης της εξωτερικής διαμέτρου μιας μονοκρυσταλλικής ράβδου πυριτίου σε μια μονοκρυσταλλική ράβδο της απαιτούμενης διαμέτρου χρησιμοποιώντας έναν τροχό λείανσης με διαμάντια και λείανση μιας επίπεδης επιφάνειας αναφοράς άκρων ή αυλάκωσης τοποθέτησης της μονοκρυσταλλικής ράβδου.
Η επιφάνεια της εξωτερικής διαμέτρου της μονοκρυσταλλικής ράβδου που παρασκευάζεται από τον κλίβανο μονοκρυστάλλου δεν είναι λεία και επίπεδη και η διάμετρός της είναι μεγαλύτερη από τη διάμετρο της γκοφρέτας πυριτίου που χρησιμοποιήθηκε στην τελική εφαρμογή. Η απαιτούμενη διάμετρος ράβδου μπορεί να ληφθεί με κύλιση της εξωτερικής διαμέτρου.
Ο ελασματουργός έχει τη λειτουργία λείανσης της επιφάνειας αναφοράς της επίπεδης άκρης ή της αυλάκωσης τοποθέτησης της μονοκρυσταλλικής ράβδου πυριτίου, δηλαδή, για τη διεξαγωγή δοκιμών κατεύθυνσης στη μονοκρυσταλλική ράβδο με την απαιτούμενη διάμετρο. Στον ίδιο εξοπλισμό ελασματουργείου, η επίπεδη επιφάνεια αναφοράς ή η αυλάκωση τοποθέτησης της μονοκρυσταλλικής ράβδου αλέθεται. Γενικά, οι μονοκρυσταλλικές ράβδοι με διάμετρο μικρότερη από 200 mm χρησιμοποιούν επιφάνειες αναφοράς επίπεδων άκρων και οι μονοκρυσταλλικές ράβδοι με διάμετρο 200 mm και άνω χρησιμοποιούν αυλακώσεις τοποθέτησης. Οι μονοκρυστάλλινες ράβδοι με διάμετρο 200mm μπορούν επίσης να κατασκευαστούν με επίπεδες επιφάνειες αναφοράς, όπως απαιτείται. Ο σκοπός της επιφάνειας αναφοράς προσανατολισμού μονοκρυσταλλικής ράβδου είναι να καλύψει τις ανάγκες της αυτοματοποιημένης λειτουργίας τοποθέτησης του εξοπλισμού διεργασίας στην κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. για να υποδείξει τον κρυσταλλικό προσανατολισμό και τον τύπο αγωγιμότητας της γκοφρέτας πυριτίου κ.λπ., για να διευκολύνει τη διαχείριση της παραγωγής. η κύρια άκρη τοποθέτησης ή η αυλάκωση τοποθέτησης είναι κάθετη προς την κατεύθυνση <110>. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας συσκευασίας τσιπ, η διαδικασία κοπής σε κύβους μπορεί να προκαλέσει φυσική διάσπαση της γκοφρέτας και η τοποθέτηση μπορεί επίσης να αποτρέψει τη δημιουργία θραυσμάτων.
Οι κύριοι σκοποί της διαδικασίας στρογγυλοποίησης περιλαμβάνουν: Βελτίωση της ποιότητας της επιφάνειας: Η στρογγυλοποίηση μπορεί να αφαιρέσει γρέζια και ανομοιομορφίες στην επιφάνεια των πλακών πυριτίου και να βελτιώσει την ομαλότητα της επιφάνειας των πλακών πυριτίου, κάτι που είναι πολύ σημαντικό για τις επόμενες διαδικασίες φωτολιθογραφίας και χάραξης. Μείωση του στρες: Το στρες μπορεί να δημιουργηθεί κατά την κοπή και την επεξεργασία των πλακών πυριτίου. Η στρογγυλοποίηση μπορεί να βοηθήσει στην απελευθέρωση αυτών των τάσεων και να αποτρέψει το σπάσιμο των πλακών πυριτίου σε επόμενες διεργασίες. Βελτίωση της μηχανικής αντοχής των πλακών πυριτίου: Κατά τη διαδικασία στρογγυλοποίησης, οι άκρες των πλακών πυριτίου θα γίνουν πιο λείες, γεγονός που βοηθά στη βελτίωση της μηχανικής αντοχής των πλακών πυριτίου και στη μείωση της ζημιάς κατά τη μεταφορά και τη χρήση. Εξασφάλιση ακρίβειας διαστάσεων: Με τη στρογγυλοποίηση, μπορεί να διασφαλιστεί η ακρίβεια διαστάσεων των πλακών πυριτίου, η οποία είναι ζωτικής σημασίας για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών. Βελτίωση των ηλεκτρικών ιδιοτήτων των πλακών πυριτίου: Η επεξεργασία των άκρων των πλακών πυριτίου έχει σημαντική επίδραση στις ηλεκτρικές τους ιδιότητες. Η στρογγυλοποίηση μπορεί να βελτιώσει τις ηλεκτρικές ιδιότητες των πλακών πυριτίου, όπως η μείωση του ρεύματος διαρροής. Αισθητική: Οι άκρες των γκοφρετών σιλικόνης είναι πιο λείες και όμορφες μετά τη στρογγυλοποίηση, κάτι που είναι επίσης απαραίτητο για ορισμένα σενάρια εφαρμογής.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-30-2024