ΟMOCVDΗ μέθοδος είναι μια από τις πιο σταθερές διαδικασίες που χρησιμοποιούνται επί του παρόντος στη βιομηχανία για την ανάπτυξη υψηλής ποιότητας μονοκρυσταλλικών λεπτών μεμβρανών, όπως επιστρώσεις InGaN μονοφασικών, υλικά III-N και μεμβράνες ημιαγωγών με δομές πολλαπλών κβαντικών πηγαδιών, και έχει μεγάλη σημασία στην κατασκευή ημιαγωγών και οπτοηλεκτρονικών συσκευών.
ΟΕπικάλυψη SiC Υποδοχέας MOCVDείναι μια εξειδικευμένη βάση γκοφρέτας επικαλυμμένη με καρβίδιο του πυριτίου (SiC) γιαεπιταξιακός ανάπτυξη στη διαδικασία εναπόθεσης μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD).
Η επίστρωση SiC έχει εξαιρετική χημική αντοχή και θερμική σταθερότητα, καθιστώντας την ιδανική επιλογή για υποδοχείς MOCVD που χρησιμοποιούνται σε απαιτητικές διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης.
Βασικό συστατικό της διαδικασίας MOCVD είναι ο υποδοχέας, ο οποίος αποτελεί βασικό στοιχείο για τη διασφάλιση της ομοιομορφίας και της ποιότητας των παραγόμενων λεπτών μεμβρανών.
Τι είναι ο υποδοχέας; Το susceptor είναι ένα εξειδικευμένο εξάρτημα που χρησιμοποιείται στη διαδικασία MOCVD για τη στήριξη και τη θέρμανση του υποστρώματος στο οποίο εναποτίθεται το λεπτό φιλμ. Έχει πολλαπλές λειτουργίες, όπως απορρόφηση ηλεκτρομαγνητικής ενέργειας, μετατροπή της σε θερμότητα και ομοιόμορφη κατανομή της θερμότητας στο υπόστρωμα. Αυτή η ομοιόμορφη θέρμανση είναι απαραίτητη για την ανάπτυξη ομοιόμορφων λεπτών μεμβρανών με ακριβές πάχος και σύνθεση.
Τύποι υποδοχέων:
1. Υποδοχείς γραφίτη: Οι υποδοχείς γραφίτη συχνά επικαλύπτονται με ένα προστατευτικό στρώμα όπως π.χ.καρβίδιο του πυριτίου (SiC), το οποίο είναι γνωστό για την υψηλή θερμική αγωγιμότητα και τη σταθερότητά του. ΟΕπικάλυψη SiCπαρέχει μια σκληρή, προστατευτική επιφάνεια που αντιστέκεται στη διάβρωση και την υποβάθμιση σε υψηλές θερμοκρασίες.
2. Υποδοχείς καρβιδίου του πυριτίου (SiC): Αυτοί οι υποδοχείς είναι κατασκευασμένοι εξ ολοκλήρου από SiC και έχουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα και αντοχή στη φθορά. Οι υποδοχείς SiC είναι ιδιαίτερα κατάλληλοι για διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά περιβάλλοντα.
Πώς λειτουργούν οι υποδοχείς στο MOCVD:
Στη διαδικασία MOCVD, οι πρόδρομες ουσίες εισάγονται στον θάλαμο αντίδρασης όπου αποσυντίθενται και αντιδρούν για να σχηματίσουν ένα λεπτό φιλμ στο υπόστρωμα. Ο υποδοχέας παίζει ζωτικό ρόλο διασφαλίζοντας ότι το υπόστρωμα θερμαίνεται ομοιόμορφα, κάτι που είναι κρίσιμο για την επίτευξη σταθερών ιδιοτήτων φιλμ σε ολόκληρη την επιφάνεια του υποστρώματος. Το υλικό και ο σχεδιασμός του υποδοχέα επιλέγονται προσεκτικά για να ανταποκρίνονται στις συγκεκριμένες απαιτήσεις της διαδικασίας εναπόθεσης, όπως το εύρος θερμοκρασίας και η χημική συμβατότητα.
Οφέλη από τη χρήση υψηλής ποιότητας υποδοχέων:
• Βελτιωμένη ποιότητα φιλμ: Παρέχοντας ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας, ο υποδοχέας βοηθά στην επίτευξη φιλμ με σταθερό πάχος και σύνθεση, κάτι που είναι κρίσιμο για την απόδοση των συσκευών ημιαγωγών.
• Βελτιωμένη απόδοση διεργασίας: Οι υποδοχείς υψηλής ποιότητας αυξάνουν τη συνολική απόδοση της διαδικασίας MOCVD μειώνοντας την πιθανότητα ελαττωμάτων και αυξάνοντας την απόδοση των χρησιμοποιήσιμων φιλμ.
• Διάρκεια ζωής και αξιοπιστία: Οι υποδοχείς από ανθεκτικά υλικά όπως το SiC εξασφαλίζουν μακροπρόθεσμη αξιοπιστία και μειώνουν το κόστος συντήρησης.
Ο υποδοχέας είναι αναπόσπαστο συστατικό της διαδικασίας MOCVD και επηρεάζει άμεσα την ποιότητα και την αποτελεσματικότητα της εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης. Για περισσότερες πληροφορίες σχετικά με τα διαθέσιμα μεγέθη, τους υποδοχείς MOCVD και τις τιμές, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας. Οι μηχανικοί μας θα χαρούν να σας συμβουλεύσουν για τα κατάλληλα υλικά και να απαντήσουν σε όλες τις ερωτήσεις σας.
Τηλέφωνο: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Ώρα δημοσίευσης: Aug-12-2024