Ποια είναι τα κύρια βήματα στην επεξεργασία των υποστρωμάτων SiC;

Ο τρόπος παραγωγής-επεξεργασίας των υποστρωμάτων SiC είναι τα εξής:

1. Προσανατολισμός κρυστάλλου: Χρήση περίθλασης ακτίνων Χ για τον προσανατολισμό του κρυσταλλικού πλινθώματος. Όταν μια δέσμη ακτίνων Χ κατευθύνεται στην επιθυμητή κρυσταλλική επιφάνεια, η γωνία της περιθλαμένης δέσμης καθορίζει τον προσανατολισμό των κρυστάλλων.

2. Τρίψιμο εξωτερικής διαμέτρου: Οι απλοί κρύσταλλοι που αναπτύσσονται σε χωνευτήρια γραφίτη συχνά υπερβαίνουν τις τυπικές διαμέτρους. Η λείανση της εξωτερικής διαμέτρου τα μειώνει σε τυπικά μεγέθη.

 

3.End Face Grinding: Τα υποστρώματα 4H-SiC 4 ιντσών έχουν συνήθως δύο άκρες τοποθέτησης, πρωτεύον και δευτερεύον. Η λείανση τελικής όψης ανοίγει αυτές τις άκρες τοποθέτησης.

4. Πριόνισμα καλωδίων: Το πριόνισμα καλωδίων είναι ένα κρίσιμο βήμα στην επεξεργασία υποστρωμάτων 4H-SiC. Ρωγμές και υποεπιφανειακές ζημιές που προκαλούνται κατά το πριόνισμα συρμάτων επηρεάζουν αρνητικά τις επακόλουθες διεργασίες, παρατείνοντας τον χρόνο επεξεργασίας και προκαλώντας απώλεια υλικού. Η πιο κοινή μέθοδος είναι το πριόνισμα πολλαπλών συρμάτων με λειαντικό διαμάντι. Μια παλινδρομική κίνηση μεταλλικών συρμάτων συνδεδεμένων με λειαντικά διαμαντιών χρησιμοποιείται για την κοπή του πλινθώματος 4H-SiC.

5. Λοξοτομή: Για να αποφευχθεί η λοξοτομή των άκρων και να μειωθούν οι απώλειες αναλώσιμων κατά τις επόμενες διεργασίες, οι αιχμηρές άκρες των ρινισμένων τσιπς λοξοτομούνται σε καθορισμένα σχήματα.

6. Αραίωση: Το πριόνισμα καλωδίων αφήνει πολλές γρατσουνιές και υποεπιφανειακές ζημιές. Η αραίωση πραγματοποιείται χρησιμοποιώντας τροχούς διαμαντιών για να αφαιρεθούν όσο το δυνατόν περισσότερο αυτά τα ελαττώματα.

7. Λείανση: Αυτή η διαδικασία περιλαμβάνει τραχιά λείανση και λεπτή λείανση με τη χρήση λειαντικών καρβιδίου του βορίου ή διαμαντιών μικρότερου μεγέθους για την αφαίρεση υπολειμματικών ζημιών και νέων ζημιών που δημιουργούνται κατά τη διάρκεια της αραίωσης.

8. Γυάλισμα: Τα τελικά βήματα περιλαμβάνουν τραχύ γυάλισμα και λεπτό γυάλισμα χρησιμοποιώντας λειαντικά αλουμίνας ή οξειδίου του πυριτίου. Το γυαλιστικό υγρό μαλακώνει την επιφάνεια, η οποία στη συνέχεια αφαιρείται μηχανικά με λειαντικά. Αυτό το βήμα εξασφαλίζει μια λεία και άθικτη επιφάνεια.

9. Καθαρισμός: Αφαίρεση σωματιδίων, μετάλλων, μεμβρανών οξειδίων, οργανικών υπολειμμάτων και άλλων ρύπων που έχουν απομείνει από τα στάδια επεξεργασίας.