Περιγραφή
Το MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth by semicera, μια κορυφαία λύση που έχει σχεδιαστεί για τη βελτιστοποίηση της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης για προηγμένες εφαρμογές ημιαγωγών. Το MOCVD Susceptor της Semicera εξασφαλίζει ακριβή έλεγχο της θερμοκρασίας και της εναπόθεσης υλικού, καθιστώντας το την ιδανική επιλογή για την επίτευξη υψηλής ποιότητας Si Epitaxy και SiC Epitaxy. Η στιβαρή του κατασκευή και η υψηλή θερμική αγωγιμότητα επιτρέπουν σταθερή απόδοση σε απαιτητικά περιβάλλοντα, διασφαλίζοντας την αξιοπιστία που απαιτείται για τα επιταξιακά συστήματα ανάπτυξης.
Αυτό το MOCVD Susceptor είναι συμβατό με διάφορες επιταξιακές εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της παραγωγής μονοκρυσταλλικού πυριτίου και της ανάπτυξης του GaN σε SiC Epitaxy, καθιστώντας το απαραίτητο συστατικό για τους κατασκευαστές που αναζητούν κορυφαία αποτελέσματα. Επιπλέον, λειτουργεί άψογα με συστήματα PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier και RTP Carrier, βελτιώνοντας την αποτελεσματικότητα και την απόδοση της διαδικασίας. Το susceptor είναι επίσης κατάλληλο για εφαρμογές LED Epitaxial Susceptor και άλλες προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών.
Με τον ευέλικτο σχεδιασμό του, το susceptor MOCVD της semicera μπορεί να προσαρμοστεί για χρήση σε Pancake Susceptors και Barrel Susceptors, προσφέροντας ευελιξία σε διαφορετικές ρυθμίσεις παραγωγής. Η ενσωμάτωση των φωτοβολταϊκών εξαρτημάτων διευρύνει περαιτέρω την εφαρμογή του, καθιστώντας το ιδανικό τόσο για τη βιομηχανία ημιαγωγών όσο και για την ηλιακή. Αυτή η λύση υψηλής απόδοσης προσφέρει εξαιρετική θερμική σταθερότητα και ανθεκτικότητα, εξασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη απόδοση στις διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης.
Κύρια Χαρακτηριστικά
1. Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
2. Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
3. Λεπτή επικάλυψη κρύσταλλου SiC για λεία επιφάνεια
4. Υψηλή αντοχή έναντι του χημικού καθαρισμού
Βασικές προδιαγραφές των επιστρώσεων CVD-SIC:
SiC-CVD | ||
Πυκνότητα | (g/cc) | 3.21 |
Αντοχή σε κάμψη | (Mpa) | 470 |
Θερμική διαστολή | (10-6/K) | 4 |
Θερμική αγωγιμότητα | (W/mK) | 300 |
Συσκευασία και αποστολή
Δυνατότητα προμήθειας:
10000 Τεμάχιο/Τεμάχια ανά μήνα
Συσκευασία & Παράδοση:
Συσκευασία: Τυπική & ισχυρή συσκευασία
Πολυτσάντα + Κουτί + Χαρτοκιβώτιο + Παλέτα
Λιμάνι:
Ningbo/Shenzhen/Σαγκάη
Χρόνος παράδοσης:
Ποσότητα (Τεμάχια) | 1 – 1000 | >1000 |
Εκτιμ. Χρόνος (ημέρες) | 30 | Προς διαπραγμάτευση |