Ισοστατικό σκάφος γραφίτη PECVD

Προτεινόμενη εικόνα ισοστατικού σκάφους γραφίτη PECVD

Σύντομη περιγραφή:

Το ισοστατικό σκάφος γραφίτη PECVD χρησιμοποιείται ευρέως σε διάφορους συνδέσμους κατασκευής ημιαγωγών, όπως εναπόθεση φιλμ πολυπυριτίου, εναπόθεση φιλμ οξειδίου, εναπόθεση φιλμ νιτριδίου κ.λπ. Η εξαιρετική του απόδοση το καθιστά ιδανικό φορέα γκοφρέτας στη διαδικασία PECVD.

Στείλτε μας email

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Το ισοστατικό σκάφος γραφίτη PECVD SEMICERA είναι ένα προϊόν γραφίτη υψηλής καθαρότητας, υψηλής πυκνότητας, σχεδιασμένο για υποστήριξη γκοφρέτας στη διαδικασία PECVD (ενισχυμένη με πλάσμα χημική εναπόθεση ατμών). Το SEMICERA χρησιμοποιεί προηγμένη τεχνολογία ισοστατικής συμπίεσης για να διασφαλίσει ότι το σκάφος γραφίτη έχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη διάβρωση, σταθερότητα διαστάσεων και καλή θερμική αγωγιμότητα, κάτι που είναι απαραίτητο αναλώσιμο στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών.

Το ισοστατικό σκάφος γραφίτη PECVD SEMICERA έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:

▪ Υψηλή καθαρότητα: Το υλικό γραφίτη είναι υψηλής καθαρότητας και χαμηλής περιεκτικότητας σε ακαθαρσίες για την αποφυγή μόλυνσης της επιφάνειας του πλακιδίου.

▪ Υψηλή πυκνότητα: Υψηλή πυκνότητα, υψηλή μηχανική αντοχή, μπορεί να αντέξει υψηλή θερμοκρασία και περιβάλλον υψηλού κενού.

▪ Καλή σταθερότητα διαστάσεων: Μικρή αλλαγή διαστάσεων σε υψηλή θερμοκρασία για να διασφαλιστεί η σταθερότητα της διαδικασίας.

▪ Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα: Μεταφέρετε αποτελεσματικά τη θερμότητα για να αποτρέψετε την υπερθέρμανση του πλακιδίου.

▪ Ισχυρή αντοχή στη διάβρωση: Ικανότητα να αντιστέκεται στη διάβρωση από διάφορα διαβρωτικά αέρια και πλάσμα.

Παράμετρος απόδοσης	ημικερά	SGL R6510	Παράμετρος απόδοσης
Μαζική πυκνότητα (g/cm3)	1,91	1,83	1,85
Αντοχή κάμψης (MPa)	63	60	49
Αντοχή σε θλίψη (MPa)	135	130	103
Σκληρότητα ακτή (HS)	70	64	60
Συντελεστής θερμικής διαστολής (10-6/K)	85	105	130
Συντελεστής θερμικής διαστολής (10-6/K)	5,85	4.2	5.0
Αντίσταση (μΩm)	11-13	13	10

Πλεονεκτήματα της επιλογής μας:
▪ Επιλογή υλικών: Χρησιμοποιούνται υλικά γραφίτη υψηλής καθαρότητας για τη διασφάλιση της ποιότητας του προϊόντος.
▪ Τεχνολογία επεξεργασίας: Χρησιμοποιείται ισοστατική συμπίεση για την εξασφάλιση της πυκνότητας και της ομοιομορφίας του προϊόντος.
▪ Προσαρμογή μεγέθους: Τα σκάφη γραφίτη διαφορετικών μεγεθών και σχημάτων μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις ανάγκες των πελατών.
▪ Επεξεργασία επιφανειών: Παρέχεται μια ποικιλία μεθόδων επεξεργασίας επιφανειών, όπως η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου, νιτριδίου του βορίου κ.λπ., για την κάλυψη διαφορετικών απαιτήσεων διεργασίας.