SiC Wafer Boat
Βάρκα γκοφρέτα καρβιδίου πυριτίουείναι μια φέρουσα συσκευή για γκοφρέτες, που χρησιμοποιείται κυρίως σε διαδικασίες ηλιακής και διάχυσης ημιαγωγών. Έχει χαρακτηριστικά όπως αντοχή στη φθορά, αντοχή στη διάβρωση, αντοχή σε κρούση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή σε βομβαρδισμό πλάσματος, ικανότητα φέρουσας θερμοκρασίας, υψηλή θερμική αγωγιμότητα, υψηλή απαγωγή θερμότητας και μακροχρόνια χρήση που δεν είναι εύκολο να λυγίσει και να παραμορφωθεί. Η εταιρεία μας χρησιμοποιεί υλικό καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας για να εξασφαλίσει διάρκεια ζωής και παρέχει προσαρμοσμένα σχέδια, συμπεριλαμβανομένων. διάφορα κάθετα και οριζόντιαβάρκα γκοφρέτα.
SiC Paddle
Οκουπί πρόβολου καρβιδίου του πυριτίουχρησιμοποιείται κυρίως στην επίστρωση (διάχυσης) πλακών πυριτίου, η οποία παίζει καθοριστικό ρόλο στη φόρτωση και τη μεταφορά πλακών πυριτίου σε υψηλή θερμοκρασία. Αποτελεί βασικό συστατικό τουγκοφρέτα ημιαγωγώνσυστήματα φόρτωσης και έχει τα ακόλουθα κύρια χαρακτηριστικά:
1. Δεν παραμορφώνεται σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και έχει υψηλή δύναμη φόρτωσης στις γκοφρέτες.
2. Είναι ανθεκτικό στο ακραίο κρύο και τη γρήγορη ζέστη και έχει μεγάλη διάρκεια ζωής.
3. Ο συντελεστής θερμικής διαστολής είναι μικρός, επεκτείνει σημαντικά τον κύκλο συντήρησης και καθαρισμού και μειώνει σημαντικά τους ρύπους.
Σωλήνας φούρνου SiC
Σωλήνας διεργασίας καρβιδίου του πυριτίου, κατασκευασμένο από SiC υψηλής καθαρότητας χωρίς μεταλλικές ακαθαρσίες, δεν μολύνει τη γκοφρέτα και είναι κατάλληλο για διεργασίες όπως διάχυση ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών, ανόπτηση και οξείδωση.
Βραχίονας ρομπότ SiC
Βραχίονας ρομπότ SiC, γνωστό και ως τελικός τελεστής μεταφοράς πλακιδίων, είναι ένας ρομποτικός βραχίονας που χρησιμοποιείται για τη μεταφορά γκοφρετών ημιαγωγών και χρησιμοποιείται ευρέως στις βιομηχανίες ημιαγωγών, οπτοηλεκτρονικών και ηλιακής ενέργειας. Η χρήση καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας, με υψηλή σκληρότητα, αντοχή στη φθορά, σεισμική αντίσταση, μακροχρόνια χρήση χωρίς παραμόρφωση, μεγάλη διάρκεια ζωής κ.λπ., μπορεί να παρέχει προσαρμοσμένες υπηρεσίες.
Γραφίτης για ανάπτυξη κρυστάλλων
Θερμική ασπίδα γραφίτη
Σωλήνας ηλεκτροδίου γραφίτη
Εκτροπέας γραφίτη
Τσοκ γραφίτη
Όλες οι διαδικασίες που χρησιμοποιούνται για την καλλιέργεια κρυσταλλικών ημιαγωγών λειτουργούν σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά. Η καυτή ζώνη του κλιβάνου ανάπτυξης κρυστάλλων είναι συνήθως γεμάτη με ανθεκτική στη θερμότητα και ανθεκτική στη διάβρωση υψηλή καθαρότητα. εξαρτήματα γραφίτη, όπως θερμαντήρες γραφίτη, χωνευτήρια, κύλινδροι, εκτροπέας, τσοκ, σωλήνες, δακτύλιοι, συγκρατητές, παξιμάδια κ.λπ. Το τελικό προϊόν μας μπορεί να επιτύχει περιεκτικότητα σε τέφρα μικρότερη από 5 ppm.
Γραφίτης για Επιταξία Ημιαγωγών
Βάση γραφίτη
Επιταξιακό Βαρέλι Γραφίτη
Μονόκρυνη επιταξιακή βάση σιλικόνης
Ανταλλακτικά γραφίτη MOCVD
Εξάρτημα γραφίτη ημιαγωγών
Η επιταξιακή διεργασία αναφέρεται στην ανάπτυξη ενός μονοκρυσταλλικού υλικού σε ένα μονοκρυσταλλικό υπόστρωμα με την ίδια διάταξη πλέγματος με το υπόστρωμα. Απαιτεί πολλά μέρη γραφίτη εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας και βάση γραφίτη με επίστρωση SIC. Ο γραφίτης υψηλής καθαρότητας που χρησιμοποιείται για την επιταξία ημιαγωγών έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, οι οποίες μπορούν να ταιριάξουν με τον πιο συχνά χρησιμοποιούμενο εξοπλισμό στη βιομηχανία, ενώ ταυτόχρονα έχει εξαιρετικά υψηλή. καθαρότητα, ομοιόμορφη επίστρωση, εξαιρετική διάρκεια ζωής και εξαιρετικά υψηλή χημική αντοχή και θερμική σταθερότητα.
Μονωτικό υλικό και άλλα
Τα θερμομονωτικά υλικά που χρησιμοποιούνται στην παραγωγή ημιαγωγών είναι σκληρή τσόχα γραφίτη, μαλακή τσόχα, φύλλο γραφίτη, σύνθετα υλικά άνθρακα κ.λπ. Οι πρώτες ύλες μας είναι εισαγόμενα υλικά γραφίτη, τα οποία μπορούν να κοπούν σύμφωνα με τις προδιαγραφές των πελατών και μπορούν επίσης να πωληθούν ως ολόκληρο. Το σύνθετο υλικό άνθρακα χρησιμοποιείται συνήθως ως φορέας για τη διαδικασία παραγωγής ηλιακών κυψελών μονοκρυστάλλου και πολυπυριτίου.