Semicera Υψηλής ΚαθαρότηταςΚουπί καρβιδίου πυριτίουέχει σχεδιαστεί σχολαστικά για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις των σύγχρονων διαδικασιών κατασκευής ημιαγωγών. ΑυτόSiC Cantilever Paddleυπερέχει σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, προσφέροντας απαράμιλλη θερμική σταθερότητα και μηχανική αντοχή. Η δομή SiC Cantilever είναι κατασκευασμένη για να αντέχει σε ακραίες συνθήκες, εξασφαλίζοντας αξιόπιστο χειρισμό πλακιδίων σε διάφορες διεργασίες.
Μία από τις βασικές καινοτομίες τουSiC Paddleείναι ο ελαφρύς αλλά στιβαρός σχεδιασμός του, ο οποίος επιτρέπει την εύκολη ενσωμάτωση σε υπάρχοντα συστήματα. Η υψηλή θερμική του αγωγιμότητα βοηθά στη διατήρηση της σταθερότητας του πλακιδίου σε κρίσιμες φάσεις, όπως η χάραξη και η εναπόθεση, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο ζημιάς του πλακιδίου και εξασφαλίζοντας υψηλότερες αποδόσεις παραγωγής. Η χρήση καρβιδίου του πυριτίου υψηλής πυκνότητας στην κατασκευή του πτερυγίου ενισχύει την αντοχή του στη φθορά, παρέχοντας εκτεταμένη διάρκεια ζωής και μειώνοντας την ανάγκη για συχνές αντικαταστάσεις.
Η Semicera δίνει μεγάλη έμφαση στην καινοτομία, παρέχοντας αSiC Cantilever Paddleπου όχι μόνο πληροί αλλά και υπερβαίνει τα πρότυπα του κλάδου. Αυτό το κουπί είναι βελτιστοποιημένο για χρήση σε διάφορες εφαρμογές ημιαγωγών, από την εναπόθεση έως τη χάραξη, όπου η ακρίβεια και η αξιοπιστία είναι ζωτικής σημασίας. Με την ενσωμάτωση αυτής της τεχνολογίας αιχμής, οι κατασκευαστές μπορούν να αναμένουν βελτιωμένη απόδοση, μειωμένο κόστος συντήρησης και σταθερή ποιότητα προϊόντος.
| Φυσικές ιδιότητες του ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου | |
| Ιδιοκτησία | Τυπική τιμή |
| Θερμοκρασία λειτουργίας (°C) | 1600°C (με οξυγόνο), 1700°C (μειωτικό περιβάλλον) |
| Περιεχόμενο SiC | > 99,96% |
| Δωρεάν περιεχόμενο Si | < 0,1% |
| Χύδην πυκνότητα | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Φαινόμενο πορώδες | < 16% |
| Αντοχή συμπίεσης | > 600 MPa |
| Αντοχή σε ψυχρή κάμψη | 80-90 MPa (20°C) |
| Δύναμη καυτής κάμψης | 90-100 MPa (1400°C) |
| Θερμική διαστολή @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Θερμική αγωγιμότητα @1200°C | 23 W/m•K |
| Συντελεστής ελαστικότητας | 240 GPa |
| Αντοχή σε θερμικό σοκ | Εξαιρετικά καλό |
