Μαζικό δαχτυλίδι CVD SiC

Επιλεγμένη εικόνα μαζικού δακτυλίου CVD SiC

Σύντομη περιγραφή:

Οι μαζικοί δακτύλιοι CVD SiC χρησιμοποιούν αέριο πηγής πυριτίου (όπως υδρίδιο του πυριτίου) και αέριο πηγής άνθρακα (όπως μεθάνιο) ως πρώτες ύλες, αντιδρώντας σε υψηλή θερμοκρασία για να εναποθέσουν υλικά SiC μεγάλου μεγέθους σε ένα υπόστρωμα ή καλούπι. Αυτή η διαδικασία επιτρέπει στο SiC να εναποτίθεται ομοιόμορφα σε μια μεγάλη περιοχή, σχηματίζοντας μια ισχυρή και συνεπή δομή δακτυλίου.

Στείλτε μας email

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Γιατί είναι ο δακτύλιος χάραξης με καρβίδιο πυριτίου;

RTPΔακτύλιοι CVD SiCχρησιμοποιούνται ευρέως σε βιομηχανικά και επιστημονικά πεδία σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα. Διαδραματίζει σημαντικό ρόλο στην κατασκευή ημιαγωγών, την οπτοηλεκτρονική, τα μηχανήματα ακριβείας και τη χημική βιομηχανία. Οι συγκεκριμένες εφαρμογές περιλαμβάνουν:

1. Κατασκευή ημιαγωγών:Δακτύλιοι RTP CVD SiCμπορεί να χρησιμοποιηθεί για θέρμανση και ψύξη εξοπλισμού ημιαγωγών, παρέχοντας σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας και διασφαλίζοντας την ακρίβεια και τη συνέπεια της διαδικασίας.

2. Οπτοηλεκτρονική: Λόγω της εξαιρετικής θερμικής αγωγιμότητας και της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, το RTPΔακτύλιοι CVD SiCμπορεί να χρησιμοποιηθεί ως υλικά υποστήριξης και απαγωγής θερμότητας για λέιζερ, εξοπλισμό επικοινωνίας οπτικών ινών και οπτικά εξαρτήματα.

3. Μηχανήματα ακριβείας: Οι δακτύλιοι RTP CVD SiC μπορούν να χρησιμοποιηθούν για όργανα και εξοπλισμό ακριβείας σε υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά περιβάλλοντα, όπως φούρνους υψηλής θερμοκρασίας, συσκευές κενού και χημικούς αντιδραστήρες.

4. Χημική βιομηχανία: Λόγω της αντοχής στη διάβρωση και της χημικής σταθερότητας, οι δακτύλιοι RTP CVD SiC μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε δοχεία, σωλήνες και αντιδραστήρες σε χημικές αντιδράσεις και καταλυτικές διεργασίες.

Σύστημα Epi

Σύστημα RTP

Σύστημα CVD

Απόδοση προϊόντος:

1. Συμπληρώστε τη διαδικασία κάτω από 28 nm

2. Σούπερ αντοχή στη διάβρωση

3. Σούπερ καθαρή απόδοση

4. Σούπερ σκληρότητα

5. Υψηλή πυκνότητα

6. Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία

7. Αντίσταση στη φθορά

Εφαρμογή προϊόντος:

Τα υλικά καρβιδίου του πυριτίου έχουν τα χαρακτηριστικά υψηλής σκληρότητας, αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση και σταθερότητας σε υψηλή θερμοκρασία. Προϊόντα με εξαιρετική συνολική απόδοση χρησιμοποιούνται ευρέως σε διαδικασίες ξηρής χάραξης και TF/Diffusion.