Η εναπόθεση ατομικού στρώματος (ALD) είναι μια τεχνολογία εναπόθεσης χημικών ατμών που αναπτύσσει λεπτές μεμβράνες στρώμα προς στρώμα με εναλλαγή δύο ή περισσότερων πρόδρομων μορίων. Το ALD έχει τα πλεονεκτήματα της υψηλής δυνατότητας ελέγχου και ομοιομορφίας και μπορεί να χρησιμοποιηθεί ευρέως σε συσκευές ημιαγωγών, οπτοηλεκτρονικές συσκευές, συσκευές αποθήκευσης ενέργειας και άλλα πεδία. Οι βασικές αρχές της ALD περιλαμβάνουν την προσρόφηση πρόδρομων ουσιών, την επιφανειακή αντίδραση και την αφαίρεση παραπροϊόντων, και τα πολυστρωματικά υλικά μπορούν να σχηματιστούν επαναλαμβάνοντας αυτά τα βήματα σε έναν κύκλο. Το ALD έχει τα χαρακτηριστικά και τα πλεονεκτήματα της υψηλής ελεγχιμότητας, της ομοιομορφίας και της μη πορώδης δομής και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την εναπόθεση ποικίλων υλικών υποστρώματος και διαφόρων υλικών.
Το ALD έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα:
1. Υψηλή δυνατότητα ελέγχου:Δεδομένου ότι το ALD είναι μια διαδικασία ανάπτυξης στρώμα προς στρώμα, το πάχος και η σύνθεση κάθε στρώματος υλικού μπορεί να ελεγχθεί με ακρίβεια.
2. Ομοιομορφία:Το ALD μπορεί να εναποθέτει υλικά ομοιόμορφα σε ολόκληρη την επιφάνεια του υποστρώματος, αποφεύγοντας την ανομοιομορφία που μπορεί να εμφανιστεί σε άλλες τεχνολογίες εναπόθεσης.
3. Μη πορώδης δομή:Δεδομένου ότι το ALD εναποτίθεται σε μονάδες μεμονωμένων ατόμων ή μεμονωμένων μορίων, το φιλμ που προκύπτει έχει συνήθως μια πυκνή, μη πορώδη δομή.
4. Καλή απόδοση κάλυψης:Το ALD μπορεί να καλύψει αποτελεσματικά δομές υψηλού λόγου διαστάσεων, όπως συστοιχίες νανοπόρου, υλικά υψηλού πορώδους κ.λπ.
5. Επεκτασιμότητα:Το ALD μπορεί να χρησιμοποιηθεί για μια ποικιλία υλικών υποστρώματος, συμπεριλαμβανομένων μετάλλων, ημιαγωγών, γυαλιού κ.λπ.
6. Ευελιξία:Με την επιλογή διαφορετικών πρόδρομων μορίων, μια ποικιλία διαφορετικών υλικών μπορεί να εναποτεθεί στη διαδικασία ALD, όπως οξείδια μετάλλων, σουλφίδια, νιτρίδια κ.λπ.
